应用材料公司S·德什潘德获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利计算机实现的抛光基板和匹配抛光系统间抛光性能的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115697631B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180040203.1，技术领域涉及：B24B49/02；该发明授权计算机实现的抛光基板和匹配抛光系统间抛光性能的方法是由S·德什潘德;S·P·休伊;D·R·威蒂设计研发完成，并于2021-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本计算机实现的抛光基板和匹配抛光系统间抛光性能的方法在说明书摘要公布了：本文中提供了先进的基板抛光方法，其使用机器学习人工智能AI算法或使用AI来产生的软件应用来控制抛光处理的一个或多个方面。使用从抛光系统获取的基板处理数据来将AI算法训练为仿真抛光处理并且对抛光处理作出预测并且处理根据该预测所预期的结果。
本发明授权计算机实现的抛光基板和匹配抛光系统间抛光性能的方法在权利要求书中公布了：1.一种计算机实现的抛光基板的方法，所述方法包括： 使用抛光系统抛光基板，包括： a根据抛光配方使抛光流体流动到抛光垫的表面上，所述抛光配方包括多个抛光参数和相应的多个目标值； b根据所述抛光配方将基板抵住所述抛光垫的所述表面； c通过调整第一控制参数来将所述多个抛光参数中的第一抛光参数维持在所述第一抛光参数的目标值或接近所述第一抛光参数的所述目标值； d产生处理系统数据，所述处理系统数据包括所述抛光配方和所述第一控制参数的时间序列数据；以及 e与a-d同时地使用从原位基板监测系统获得的测量值来产生时间序列原位结果数据； 对多个基板重复a-e，以获得相应的多个训练数据集，所述训练数据集中的每一者包括针对经抛光的基板的所述处理系统数据和所述原位结果数据； 在人工智能AI训练平台处接收包括所述多个训练数据集的训练数据，其中所述多个训练数据集的至少一部分是以时间顺序接收的；以及 基于由机器学习AI算法执行的对所接收的训练数据的分析来改变所述多个抛光参数中的一者或多者。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号