长江存储科技有限责任公司冯皓获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利晶圆键合的控制方法、控制装置以及键合系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113948412B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111089507.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆键合的控制方法、控制装置以及键合系统是由冯皓;刘武;赵志远设计研发完成，并于2021-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆键合的控制方法、控制装置以及键合系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆键合的控制方法、控制装置以及键合系统，该方法包括：键合机台获取第一晶圆和第二晶圆的对准偏差，第一晶圆和第二晶圆为待键合的两个晶圆；在对准偏差大于或者等于预定阈值的情况下，键合机台对第一晶圆和或第二晶圆进行调整，以使得调整后的对准偏差小于预定阈值；键合机台对调整后的第一晶圆和第二晶圆进行键合。该方法在键合工序确定第一晶圆和第二晶圆的对准偏差，保证了对准偏差较为准确，进而保证了根据对准偏差调整后的两片晶圆基本一致，从而保证了调整后的两片晶圆的键合精度较高。
本发明授权晶圆键合的控制方法、控制装置以及键合系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合的控制方法，其特征在于，包括： 键合机台获取第一晶圆和第二晶圆的对准偏差，所述第一晶圆和所述第二晶圆为待键合的两个晶圆； 在所述对准偏差大于或者等于预定阈值的情况下，所述键合机台对所述第一晶圆和或所述第二晶圆进行调整，以使得调整后的所述对准偏差小于所述预定阈值； 所述键合机台对调整后的所述第一晶圆和所述第二晶圆进行键合； 键合机台获取第一晶圆和第二晶圆的对准偏差，包括： 所述键合机台获取第一信息和第二信息，所述第一信息包括所述第一晶圆的第一尺寸信息以及所述第一晶圆的第一标记的位置信息，所述第二信息包括所述第二晶圆的第二尺寸信息以及所述第二晶圆的第二标记的位置信息； 所述键合机台对所述第一信息和所述第二信息进行数据拟合，确定所述对准偏差。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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