北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司辛孟阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司申请的专利传送装置和处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113488422B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110734999.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权传送装置和处理系统是由辛孟阳;余飞;罗功林设计研发完成，并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本传送装置和处理系统在说明书摘要公布了：本公开提供了一种传送装置和处理系统。该传送装置可以包括第一传送组件，用于向腔室传送第一工件；第二传送组件，用于从该腔室传送出第二工件；阻隔组件，设置于该第一传送组件与该第二传送组件之间，用于阻隔该第一工件和该第二工件的能量传递；支撑组件，用于将该阻隔组件限制在该第一传送组件与该第二传送组件之间。本公开实施例通过阻隔组件阻隔第一传送组件之上的工件和第二传送组件之上的工件的能量传递，可以防止或避免第二传送组件之上的工件对第一传送组件之上的工件产生影响，有利于采用可重复的工艺对工件进行处理，提高工件产量。
本发明授权传送装置和处理系统在权利要求书中公布了：1.一种传送装置，包括： 第一传送组件，包括第一传送臂，用于向腔室传送第一工件； 第二传送组件，包括第二传送臂，用于从所述腔室传送出第二工件，所述第一传送组件的第一传送臂和所述第二传送组件的第二传送臂是上下同轴的，所述第一传送组件的第一传送臂的一端和所述第二传送组件的第二传送臂的一端分别连接在支撑组件的第一轴； 阻隔组件，设置于所述第一传送组件下方以及所述第二传送组件上方，用于阻隔所述第一工件和所述第二工件的能量传递； 所述支撑组件，用于将所述阻隔组件限制在所述第一传送组件与所述第二传送组件之间； 其中，所述第一传送组件的第一端耦合所述支撑组件，所述第一传送组件的第二端用于沿着第一工件传送方向往复运动；并且，所述第二传送组件的第一端耦合所述支撑组件，所述第二传送组件的第二端用于沿着第二工件传送方向往复运动； 其中，所述能量包括红外辐射，所述红外辐射的波长范围为1微米至20微米。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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