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龙图腾网获悉北京烁科精微电子装备有限公司申请的专利一种传感器与晶圆相对轨迹追踪方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115446669B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110645765.0，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权一种传感器与晶圆相对轨迹追踪方法是由李嘉浪;白琨;贾若雨;吴燕林;周庆亚;张金环;刘志伟设计研发完成，并于2021-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种传感器与晶圆相对轨迹追踪方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种传感器与晶圆相对轨迹追踪方法，属于CMP设备技术领域，包括以下步骤：通过已知条件，对AB之间的距离进行计算；在T1时刻，以A点此刻所处的位置为圆心，AB此刻的长度为半径形成第一圆，第一圆与晶圆边缘产生第一交点；重复执行交点获取步骤，直至传感器脱离晶圆的位置时，得到若干交点；传感器在扫过晶圆时，通过将若干交点进行曲线拟合，得到传感器在晶圆上扫过的弧线。本发明提供的传感器与晶圆相对轨迹追踪方法，能够实时获得传感器相对于抛光头中心的距离，获取传感器扫过晶圆时的弧线，获得传感器相对于晶圆的实时位置，可以由传感器传来的数据得知此时晶圆的研磨状况，进而可以对抛光头的压力进行实时调整。

本发明授权一种传感器与晶圆相对轨迹追踪方法在权利要求书中公布了：1.一种传感器与晶圆相对轨迹追踪方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取抛光盘2中心O1点与抛光头3公转中心O2点之间的距离L1； 获取抛光头3公转中心O2点与抛光头3中心A点之间的距离L2； 获取传感器1所处的位置B点与抛光盘2中心O1点之间的距离L3； 获取抛光盘2的转速Rpm1，根据抛光头3运动公式得出抛光头3自转中心在T2－T1时间内的弧长位移S1； 获取角FO1O2的大小，包括：以O1为极点，O1O2的连线为极轴，通过弧度角公式可得知，角FO1B的弧度角为： ∠FO1B＝2*π60*Rpm1*T2-T1 其中，传感器1扫到晶圆时的时间T1，传感器1上传数据的时间T2，T1时刻传感器1在抛光盘上所处半径为O1F，T2时刻抛光头3中心为A点； 计算BO1O2的弧度角为： ∠BO1O2＝∠FO1O2-∠FO1B 根据弧度角，计算B点的极坐标为L3，∠BO1O2； 计算角AO2O1的弧度角为： ∠AO2O1＝S1L2； 根据三角形余弦定理，计算AO1的长度为： 计算角AO1O2的弧度角为： ∠AO1O2＝arcsinL2*sin∠AO2O1AO1； 计算A点的极坐标为AO1，∠AO1O2； 将A点和B点的极坐标转化为以O1为原点的直角坐标系的坐标： AAO1*cos∠AO1O2，AO1*sin∠AO1O2； BL3*cos∠BO1O2，L3*sin∠BO1O2； 根据两点距离公式可推算出AB两点之间的距离，计算传感器相对于抛光头自转中心的距离为： 在T1时刻，以A点此刻所处的位置为圆心，AB此刻的长度为半径形成第一圆，第一圆与晶圆边缘产生第一交点； 经过预设时间后，以当前时刻A点所处位置处为圆心，AB此刻的长度为半径形成第二圆，第二圆与第一圆产生第二交点； 交点获取步骤：再次经过预设时间后，以此刻A点所处位置处为圆心，AB此刻的长度为半径形成第三圆，第三圆与第二圆产生第三交点； 重复执行交点获取步骤，直至传感器1脱离晶圆的位置时，得到若干交点； 传感器1在扫过晶圆时，通过将若干交点进行曲线拟合，得到传感器1在晶圆上扫过的弧线； 所述追踪方法还包括有控制器，所述控制器与传感器1通信连接；所述追踪方法还包括有压力调节装置，与所述抛光头3连接，且所述压力调节装置与所述控制器通信连接。

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