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联华电子股份有限公司黄伟豪获国家专利权

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龙图腾网获悉联华电子股份有限公司申请的专利切割鳍状结构的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115411108B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110589682.4,技术领域涉及:H10D30/62;该发明授权切割鳍状结构的方法是由黄伟豪;陈俊隆;廖琨垣;郭龙恩;许珈玮设计研发完成,并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

切割鳍状结构的方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种切割鳍状结构的方法,包含有下述步骤。首先,提供一光掩模,其中光掩模包含一蛇形图案。接着,形成一光致抗蚀剂层覆盖鳍状结构,其中鳍状结构位于一基底上。之后,进行曝光显影以于光致抗蚀剂层形成一光致抗蚀剂图案,其中光致抗蚀剂图案对应蛇形图案。而后,转移光致抗蚀剂图案并蚀刻鳍状结构的切割部分,以切割鳍状结构。

本发明授权切割鳍状结构的方法在权利要求书中公布了:1.一种切割鳍状结构的方法,包含有: 提供光掩模,其中该光掩模包含蛇形图案; 形成光致抗蚀剂层,覆盖多个鳍状结构,其中该多个鳍状结构位于基底上; 进行曝光显影以于该光致抗蚀剂层形成光致抗蚀剂图案,其中该光致抗蚀剂图案对应该蛇形图案,且重叠邻近的该多个鳍状结构的多个切割部分;以及 转移该光致抗蚀剂图案并蚀刻该多个鳍状结构的切割部分,以切割该多个鳍状结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人联华电子股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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