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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利研磨装置、信息处理系统、研磨方法及记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113492356B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110285164.3，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权研磨装置、信息处理系统、研磨方法及记录介质是由中村显;鸟越恒男;铃木佑多;松尾尚典;神子岛隆仁设计研发完成，并于2021-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本研磨装置、信息处理系统、研磨方法及记录介质在说明书摘要公布了：本发明是研磨装置、信息处理系统、研磨方法及记录介质，研磨装置能够参照存储有使用学习用数据而完成学习的机器学习模型的存储体，该学习用数据将关于研磨中的研磨部件与基板间的摩擦力的信号的特征量或研磨中的研磨部件或基板的温度的特征量作为输入，并将关于研磨后的基板的膜厚的数据或研磨后的基板所包含的关于产品合格率的参数作为输出，研磨装置具备处理器，该处理器根据关于研磨中的研磨部件与基板间的摩擦力的信号、或者研磨中的研磨部件或对象基板的温度而生成特征量，将该生成的特征量输入所述完成学习的机器学习模型，由此输出关于研磨后的基板的膜厚的数据或研磨后的基板所包含的关于产品合格率的参数的任意一个作为推定值。

本发明授权研磨装置、信息处理系统、研磨方法及记录介质在权利要求书中公布了：1.一种研磨装置，能够参照存储有使用学习用数据而完成学习的机器学习模型的存储体，该学习用数据将关于研磨中的研磨部件与基板间的摩擦力的信号的特征量、或者研磨中的研磨部件或基板的温度的特征量作为输入，并将关于研磨后的基板的膜厚的数据或研磨后的基板所包含的关于产品合格率的参数作为输出， 该研磨装置的特征在于，具备： 研磨台，该研磨台设有研磨部件且构成为能够旋转； 研磨头，该研磨头与所述研磨台相对且构成为能够旋转，并且能够在与所述研磨台相对的面安装基板； 控制部，该控制部以一边使安装了基板的所述研磨头与所述研磨台旋转，一边将该基板按压于所述研磨部件来研磨该基板的方式进行控制； 处理器，该处理器根据关于研磨中的研磨部件与基板间的摩擦力的信号、或者研磨中的研磨部件或对象基板的温度而生成特征量，将生成的该特征量输入所述完成学习的机器学习模型，由此输出关于研磨后的基板的膜厚的数据或研磨后的基板所包含的关于产品合格率的参数的任意一个作为推定值；及 膜厚测定器，该膜厚测定器测定所述基板的膜厚， 在输出的所述推定值满足预定的研磨恶化条件时，所述处理器控制所述膜厚测定器测定研磨后的对象基板的膜厚，在输出的所述推定值不满足预定的研磨恶化条件时，所述处理器控制所述膜厚测定器不测定研磨后的对象基板的膜厚。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所，其通讯地址为：日本国东京都大田区羽田旭町11番1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。