新光电气工业株式会社栗林明宏获国家专利权
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龙图腾网获悉新光电气工业株式会社申请的专利基板固定装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113284837B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110123746.1,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权基板固定装置是由栗林明宏;西川里驱设计研发完成,并于2021-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板固定装置在说明书摘要公布了:本公开提供一种基板固定装置,该基板固定装置包括:静电吸盘,其构造为在静电吸盘上吸附并且保持对象,并且静电吸盘包括基体和静电电极,对象安装在该基体上,并且静电电极设置在基体中;以及底板,静电吸盘安装在底板上,并且底板具有多个通孔,该多个通孔中的每一个使基体的面向底板的第一面露出。从通孔中的每一个朝向基体发射激光。
本发明授权基板固定装置在权利要求书中公布了:1.一种基板固定装置,包括: 静电吸盘,其构造为在所述静电吸盘上吸附并且保持对象,并且所述静电吸盘包括基体和静电电极,所述对象安装在所述基体上,并且所述静电电极设置在所述基体中;以及 底板,所述静电吸盘安装在所述底板上,并且所述底板具有多个通孔,所述多个通孔中的每一个使所述基体的面向所述底板的第一面露出, 其中,从所述通孔中的每一个朝向所述基体发射激光, 所述基板固定装置还包括: 多个光纤,所述多个光纤中的每一个构造为朝向所述基体发射激光,并且布置在所述通孔中相对应的一个中, 其中,在所述基体的所述第一面中形成有多个凹部, 所述凹部中的每一个面向所述光纤中相对应的一个,并且 所述基体由陶瓷制成,所述基体的陶瓷从所述凹部中的每一个的底面和侧面露出,并且从所述光纤中的每一个发射的激光辐射至从所述凹部中的每一个的所述底面和所述侧面露出的所述基体的陶瓷上。
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