村田机械株式会社椿达雄获国家专利权
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龙图腾网获悉村田机械株式会社申请的专利平面度测定单元获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114830319B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180007230.9,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权平面度测定单元是由椿达雄;横山裕之设计研发完成,并于2021-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本平面度测定单元在说明书摘要公布了:本发明提供一种平面度测定单元,载置于搁板,用于测定与从搁板上的4个规定部位存在于同一平面上的情况偏离的程度相关的平面度,其中,具备:主体框架;以及4个接地部,分散配置在主体框架上,设置成与搁板上的4个规定部位分别接地。4个接地部包括不位于对角位置的两个第1接地部、以及第1接地部以外的两个第2接地部。将重心位置设置在平面度测定单元中由通过位于对角位置的第1接地部与第2接地部的两条对角线所划分的4个区域中的、包括两个第1接地部的区域。
本发明授权平面度测定单元在权利要求书中公布了:1.一种平面度测定单元,载置于搁板,用于测定与从上述搁板上的4个规定部位存在于同一平面上的情况偏离的程度相关的平面度,具备: 主体框架;以及 4个接地部,分散配置在上述主体框架上,设置成与上述搁板上的4个上述规定部位分别接地, 4个上述接地部包括不位于对角位置的两个第1接地部、以及上述第1接地部以外的两个第2接地部, 将重心位置设置在如下区域:该区域为在上述平面度测定单元中由通过位于对角位置的上述第1接地部与上述第2接地部的两条对角线所划分的4个区域中的、包括两个上述第1接地部的区域。
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