佳能株式会社娄明吉获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利使用反馈和前馈控制的纳米压印光刻中的对准控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114667485B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078826.3，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权使用反馈和前馈控制的纳米压印光刻中的对准控制是由娄明吉;崔炳镇;J·D·克莱因;吉田贵裕;S·T·詹金斯设计研发完成，并于2020-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用反馈和前馈控制的纳米压印光刻中的对准控制在说明书摘要公布了：提供了用于控制其上支撑有基板的可移动的台架的位置的系统和方法。从传感器获得表示相对于物体上的标记的基板的位置的第一位置信息。基于所获得的第一位置来生成对准预测信息，其中，所生成的对准预测信息包括至少一个参数值。基于所获得的第一位置信息和所生成的对准预测信息来生成包括该至少一个参数值的第一轨迹信息。基于所生成的对准预测信息、第一轨迹信息和第二位置信息来生成第二轨迹信息，其中，第二位置信息表示可移动的台架的位置。基于第二轨迹信息来生成输出控制信号，并且使用输出控制信号基于所生成的输出信号来控制可移动的台架接近目标位置。
本发明授权使用反馈和前馈控制的纳米压印光刻中的对准控制在权利要求书中公布了：1.一种控制可移动的台架的位置的方法，所述可移动的台架使基板被支撑在其上，所述方法包括： 从传感器获得表示相对于物体上的标记的基板的位置的第一位置信息； 基于所获得的第一位置信息来生成对准预测信息，所生成的对准预测信息包括至少一个参数值； 基于所获得的第一位置信息和所生成的对准预测信息来生成包括所述至少一个参数值的第一轨迹信息； 基于所生成的对准预测信息、第一轨迹信息和第二位置信息来生成第二轨迹信息，其中，第二位置信息表示可移动的台架的位置； 基于第二轨迹信息来生成输出控制信号； 基于所生成的输出信号来控制可移动的台架接近目标位置；以及 基于在可移动的台架已根据输出控制信号移动之后由图像捕获设备获得的更新的第一位置信息来更新对准预测信息和包括在对准预测信息中的所述至少一个参数值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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