应用材料股份有限公司孙大伟获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料股份有限公司申请的专利可偏转压板以及使压板偏转的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114631177B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080076072.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权可偏转压板以及使压板偏转的方法是由孙大伟;殷明设计研发完成，并于2020-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本可偏转压板以及使压板偏转的方法在说明书摘要公布了：一种可偏转压板以及使压板偏转的方法。可偏转压板包括：环形侧壁；第一层，耦合到环形侧壁，第一层具有与第一层相关联的第一温度控制元件；第二层，耦合到环形侧壁且以与第一层平行、间隔开的关系设置，从而在第一层与第二层之间界定间隙，第二层具有与第二层相关联的第二温度控制元件；以及控制器，耦合到第一温度控制元件及第二温度控制元件，并被配置成操作第一温度控制元件及第二温度控制元件以改变第一层及第二层相对于彼此的温度，从而使压板偏转以更紧密地匹配晶片的轮廓。
本发明授权可偏转压板以及使压板偏转的方法在权利要求书中公布了：1.一种可偏转压板，包括： 环形侧壁； 第一层，耦合到所述环形侧壁，所述第一层具有与所述第一层相关联的第一温度控制元件；以及 第二层，耦合到所述环形侧壁且以与所述第一层平行、间隔开的关系设置，从而在所述第一层与所述第二层之间界定间隙，所述第二层具有与所述第二层相关联的第二温度控制元件， 其中所述间隙处于真空下且在所述第一层与所述第二层之间提供热绝缘。
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