朗姆研究公司普拉桑纳·库尔卡尼获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利使用相机晶片的基座设置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114174556B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080055504.7，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权使用相机晶片的基座设置是由普拉桑纳·库尔卡尼;雷切尔·E·巴策尔;泰德·谭;维韦卡南丹·克里希纳斯瓦米;布尼亚里特·文普拉瑟特;肖恩·菲德勒设计研发完成，并于2020-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用相机晶片的基座设置在说明书摘要公布了：一种方法包含：将装置布置于处理室中的基座的顶表面上。所述装置包含：环形构件；N个支撑构件；以及N个销，其中N为大于2的整数。N个支撑构件将所述环形构件支撑于与所述基座的所述顶表面平行的平面中且支撑于所述顶表面上方。所述N个销垂直于沿着环绕所述环形构件的圆周的平面而布置。所述N个销中的每一个包含能够与所述装置中的相应螺纹槽啮合的螺纹。所述N个销中的每一个包含指向所述基座的所述顶表面且能与所述基座的所述顶表面的周围接合的锥状端点。所述方法还包含：通过调整所述N个销中的一或多个而将所述环形构件的中心与所述基座的中心对准。
本发明授权使用相机晶片的基座设置在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底处理系统的装置，其包含： 沿着第一平面布置的环形构件； N个第一构件，其从所述环形构件的圆周垂直于所述第一平面延伸，其中N为大于2的整数，其中所述N个第一构件中的每一个的第一部分在所述第一平面上方延伸，且其中所述N个第一构件中的每一个的第二部分在所述第一平面下方延伸； N个第二构件，其从所述N个第一构件的所述第二部分沿着平行于所述第一平面的第二平面径向向外延伸，其中所述N个第二构件中的每一个位于所述N个第一构件中的不同的一对之间；以及 N个销，其垂直于所述第二平面从所述N个第二构件向下延伸，所述N个销具有锥形端点， 其中所述N个销与所述环形构件的中心等距，且包含能与所述N个第二构件中的螺纹槽相啮合的螺纹。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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