佛山市国星半导体技术有限公司仇美懿获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山市国星半导体技术有限公司申请的专利一种Mini/micro LED的外延量子阱及其制作方法、外延结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111834500B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010679488.0,技术领域涉及:H10H20/812;该发明授权一种Mini/micro LED的外延量子阱及其制作方法、外延结构是由仇美懿;庄家铭设计研发完成,并于2020-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Mini/micro LED的外延量子阱及其制作方法、外延结构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种MinimicroLED的外延量子阱及其制作方法、外延结构,其中,所述外延量子阱包括阱层、包覆层和阻挡层,所述阱层由InxGa1‑xN制成,所述包覆层由GaN制成,所述阻挡层由掺杂了Si的GaN制成,X=0.30~0.40,所述阱层的厚度为1.5~2.0nm。本发明通过调整量子阱的结构,增加阱层In的含量,减少阱层的厚度,同时设置包覆层和阻挡层,由此来降低压电效应的影响,进而减少外延层的半波宽Hw、标准差Stdv。
本发明授权一种Mini/micro LED的外延量子阱及其制作方法、外延结构在权利要求书中公布了:1.一种MinimicroLED的外延量子阱,其特征在于,包括依次层叠的阱层、包覆层和阻挡层,所述阱层由InxGa1-xN制成,所述包覆层包括第一包覆层和第二包覆层,所述第一包覆层设置在阱层和第二包覆层之间,所述第一包覆层和第二包覆层均由GaN制成,所述阻挡层由掺杂了Si的GaN制成,其中,X=0.30~0.40,所述阱层的厚度为1.5~2.0nm; 所述第一包覆层采用下述方法制得:在温度为650~750℃,压力为450~550mBar的条件下,通入TEGa、NH3、N2和H2气体,流量分别为130~190sccm、80~160sccm、40~70sccm、3~6sccm,形成厚度为0.5~1nm的第一包覆层; 所述第二包覆层采用下述方法制得:在温度为750~850℃,压力为450~550mBar的条件下,通入TEGa、NH3、N2和H2气体,流量分别为130~190sccm、80~160sccm、40~70sccm、3~6sccm,形成厚度为0.5~1nm的第二包覆层; 其中,第一包覆层的形成温度小于第二包覆层的形成温度,且形成第一包覆层之后,形成第二包覆层之前,中间停顿30~180秒。
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