新光电气工业株式会社饭岛信行获国家专利权
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龙图腾网获悉新光电气工业株式会社申请的专利基板固定装置及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112086393B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010534415.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板固定装置及其制造方法是由饭岛信行;柳泽启晴;中村祐一;高桥龙二设计研发完成，并于2020-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板固定装置及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板固定装置和制造基板固定装置的方法，该基板固定装置包括：底板；静电吸附部件，其吸附并保持基板；支撑部件，其布置在底板上以支撑静电吸附部件；以及粘合层，其将静电吸附部件粘合至底板。支撑部件与底板直接接触，并与静电吸附部件直接接触。支撑部件的弹性模量高于粘合层的弹性模量。
本发明授权基板固定装置及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基板固定装置，包括： 底板； 静电吸附部件，其吸附并保持基板； 支撑部件，其布置在所述底板上以支撑所述静电吸附部件；以及 粘合层，其将所述静电吸附部件粘合至所述底板，其中， 所述支撑部件与所述底板直接接触，并与所述静电吸附部件直接接触， 所述支撑部件的弹性模量高于所述粘合层的弹性模量， 所述支撑部件与所述静电吸附部件和所述底板的接触面均为平坦面，并且 所述基板固定装置包括多个所述支撑部件。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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