科磊股份有限公司李诗芳获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于在后端及晶片级封装中半导体检验的高分辨率检查的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115244389B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080098036.1，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权用于在后端及晶片级封装中半导体检验的高分辨率检查的系统及方法是由李诗芳设计研发完成，并于2020-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于在后端及晶片级封装中半导体检验的高分辨率检查的系统及方法在说明书摘要公布了：一种检查系统及操作方法引导光束朝向载台上的样本。样本是晶片级封装晶片或后端晶片。基于从样品反射的光执行缺陷检查。所述检查系统可使用以下中的一或多者：由浸入子系统供应的流体，所述子系统包含流体供应单元及流体去除单元；照明图案，其用于差分相位对比；或紫外线或深紫外线波长。
本发明授权用于在后端及晶片级封装中半导体检验的高分辨率检查的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种检查系统，其包括： 载台，其具有安置于其上的样本，其中所述样本是晶片级封装晶片或后端晶片； 光源，其经配置以向所述样本发射光束，其中所述光源包含发射紫外线或深紫外线波长的白光源，且其中所述光源包括中继透镜； 检测器，其经配置以检测由所述样本反射的所述光束的一部分； 多个物镜，其中所述中继透镜经配置以使由所述样本反射的所述光束通过所述物镜中的至少一者成像到所述检测器，其中所述检测器使用帧抓取器模块将来自所述中继透镜的所述光束转换为图像，且其中所述帧抓取器模块与所述载台同步； 浸入子系统，其包含液体供应器以及液体去除器，其中所述浸入子系统经配置以在所述物镜中的一者和所述样本之间提供来自所述液体供应器的液体；以及 处理器，其与所述检测器电子通信，其中所述处理器经配置以对所述样本执行缺陷检查。
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