芯米(厦门)半导体设备有限公司尹安和获国家专利权
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龙图腾网获悉芯米(厦门)半导体设备有限公司申请的专利节约光阻液的光阻液喷涂系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111451022B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010263935.4，技术领域涉及：B05B9/04；该发明授权节约光阻液的光阻液喷涂系统是由尹安和设计研发完成，并于2020-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本节约光阻液的光阻液喷涂系统在说明书摘要公布了：一种节约光阻液的光阻液喷涂系统，包括：储液罐，用于储存和供应光阻液；第一过滤器，用于过滤光阻液的杂质；缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；所述第一过滤器设置于所述储液罐与所述缓冲器之间；光阻液泵，用于将所述缓冲器内的光阻液输送至使用端；所述缓冲器连接有回抽管，所述回抽管第一端伸入所述缓冲器内部，第二端连接至所述第一过滤器前端；所述回抽管安装有回抽泵；所述回抽管和所述回抽泵用于将所述缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端。所述光阻液喷涂系统能够节约光阻液，节省成本。
本发明授权节约光阻液的光阻液喷涂系统在权利要求书中公布了：1.一种节约光阻液的光阻液喷涂系统，其特征在于，包括： 储液罐，用于储存和供应光阻液； 第一过滤器，用于过滤光阻液的杂质； 缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液； 所述第一过滤器设置于所述储液罐与所述缓冲器之间； 光阻液泵，用于将所述缓冲器内的光阻液输送至使用端； 所述缓冲器连接有回抽管，所述回抽管第一端伸入所述缓冲器内部，第二端连接至所述第一过滤器前端；所述回抽管安装有回抽泵；所述回抽管和所述回抽泵用于将所述缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端； 所述回抽管安装有液体阀和回抽液体传感器的至少其中之一； 所述缓冲器连接有排气管；所述排气管安装有排气阀和气体传感器的至少其中之一；所述排气管还安装有抽气装置； 还包括第二过滤器，所述第二过滤器与所述第一过滤器并列连接在所述储液罐与所述缓冲器之间。
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