西默有限公司D·H·巴恩哈特获国家专利权
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龙图腾网获悉西默有限公司申请的专利用于对准和诊断激光束的方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110892329B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880046016.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于对准和诊断激光束的方法和装置是由D·H·巴恩哈特设计研发完成，并于2018-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于对准和诊断激光束的方法和装置在说明书摘要公布了：公开了用于以高度空间节省、低成本和或改造友好的方式对准和诊断穿过光具组的激光束的方法和装置。光具组的光学组件被安装成使得一个或多个光学组件可以引导它们的出射激光束部分或全部地扫过一个或多个下游传感器。除了别的之外，光学组件的物理设置与撞击数据和或光束质量数据的点之间的相关性数据还用于对准和或诊断激光束和或定位故障部位和或优化维护时间表。
本发明授权用于对准和诊断激光束的方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种用于优化光刻系统中的激光束的方法，所述激光束穿过包括多个光学组件的光具组，所述方法包括： 使用所述多个光学组件中的第一光学组件进行光栅化，使得响应于使用所述第一光学组件进行的所述光栅化，离开所述第一光学组件的所述激光束至少部分扫过第一传感器； 使用在使用所述第一光学组件进行的所述光栅化期间从所述第一传感器获取的数据，在所述第一光学组件的物理设置与所述激光束的撞击点之间形成相关性； 使用从所述相关性获取的数据来确认所述第一光学组件的第一物理设置，所述第一物理设置将引起离开所述第一光学组件的所述激光束的所述撞击点撞击第二光学组件上的期望点；以及 通过根据所述第一物理设置对准所述第一光学组件，相对于所述第二光学组件对准离开所述第一光学组件的所述激光束。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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