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龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种点扫描形貌仪高度方向跳动误差的校正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120368852B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510888193.7，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种点扫描形貌仪高度方向跳动误差的校正方法是由刘庆纲;李阳;陈曼桐;佘硕铖;左嘉晨;王奇设计研发完成，并于2025-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种点扫描形貌仪高度方向跳动误差的校正方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种点扫描形貌仪高度方向跳动误差的校正方法，解决了现有技术中点扫描形貌仪存在高度方向的跳动误差、测量精度低的问题。本发明误差校正方法采用的点扫描形貌仪包括底座，底座上设有龙门立柱和Y向直驱运动台，龙门立柱上设有竖向丝杆模组，竖向丝杆模组上设有垂直运动组件；垂直运动组件包括相连接的回转台和摆动台；摆动台上设有高精度位移传感器；Y向直驱运动台上设有X向直驱运动台；X向直驱运动台上设有大理石调平台。本发明利用点扫描形貌仪自带的高精度位移传感器有效降低X向和Y向直驱运动台行走时的跳动误差对样品高度信息测量结果的影响；非接触式测量在保证测量效率的同时，避免了探针与样品间的摩擦、磨损；有效保证了样品形貌测量的准确性。

本发明授权一种点扫描形貌仪高度方向跳动误差的校正方法在权利要求书中公布了：1.一种点扫描形貌仪高度方向跳动误差的校正方法，其特征在于：步骤如下：S1：调节调平台（10），使其保持水平；然后调整高精度位移传感器（8）高度，使调平台（10）的整体表面高度变化信息在高精度位移传感器（8）的量程以内，调节垂直运动组件上的回转台（5）和摆动台（6），使高精度位移传感器（8）在某扫描点的高度测量结果最小； S2：控制X向直驱运动台（11）和Y向直驱运动台（12）运动，使高精度位移传感器（8）的出射光点在调平台（10）的上表面，相对于调平台（10）以一定的间距做“S”形的点扫描运动，并使扫描点均匀分布于调平台（10）的上表面；高精度位移传感器（8）获取对应扫描点（X’，Y’）坐标下的高度点云数据，记为Z’，其中，对于起始点（X1 ’，Y1 ’）坐标下的高度点云数据，记为Z1 ’，则得到其后任意一扫描点相对于起始点（X1 ’，Y1 ’）的高度方向跳动误差：△Z’=Z’-Z1 ’； S3：对步骤S2中获取的高度点云数据Z’做离散点优化与网格化插值处理，并记为Z’’； S4：高度点云数据Z’经离散点优化与网格化插值处理后，可得到点扫描边界内任意一点坐标（X’’，Y’’）对应的高度数据Z’’和该点相对于起始点（X1 ’，Y1 ’）在高度方向上的跳动误差：△Z’’=Z’’-Z1 ’； S5：将被测样品（9）放置在调平台（10）上，高精度位移传感器（8）对被测样品（9）进行点扫描，使其扫描范围在上述调平台点扫描范围的边界以内，并使其第一个扫描点（X1 ’’’，Y1 ’’’）坐标与起始点（X1 ’，Y1 ’）坐标一致，其后，任意一扫描点的坐标记为（X’’’，Y’’’），由高精度位移传感器（8）测得的高度数据记为高度点云数据Z’’’；所得的高度点云数据Z’’’经步骤S3中的（a）、（b）和（c）方法处理后，由步骤S3中（d）双线性插值法计算得到该任意一扫描点（X’’’，Y’’’）对应的无被测样品时的高度数据，记为Z’’，则该任意一扫描点相对于起始点（X1 ’，Y1 ’）的原始的高度跳动误差：△Z’’’=Z’’-Z1 ’，之后，则得到校正了原始的高度跳动误差后的被测样品（9）的高度点云数据：ZR=Z’’’-△Z’’’。

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