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南京大学周峰获国家专利权

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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种脉冲激光辐照实验装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120334703B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510826207.2,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种脉冲激光辐照实验装置是由周峰;唐钲翔;陆海;徐尉宗;任芳芳;周东设计研发完成,并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种脉冲激光辐照实验装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种脉冲激光辐照实验装置。包括光学参数测量平台、光路耦合模块、光电测试模块、电学测试平台以及第一控制系统和第二控制系统;所述第一控制系统用于将椭偏状态变化参数与扫描模型进行拟合得到单层薄膜的折射率、消光系数;所述第二控制系统用于将薄膜的折射率、消光系数、反射率和透射率输入器件入射模型计算不同波长脉冲激光在待测宽禁带功率器件内穿过各层薄膜到达有源区时的有效脉冲激光能量,根据有效脉冲激光能量得到等效重离子LET值,控制光路耦合模块、光电测试模块和电学测试平台闭环调节脉冲激光能量。本发明实现了脉冲激光能量的准确把控与调节。

本发明授权一种脉冲激光辐照实验装置在权利要求书中公布了:1.一种脉冲激光辐照实验装置,其特征在于:包括光学参数测量平台、光路耦合模块、光电测试模块、电学测试平台以及第一控制系统和第二控制系统; 所述光学参数测量平台用于在全光谱范围内测量与待测宽禁带功率器件各层薄膜材料对应的、生长于衬底上的单层薄膜的椭偏状态变化参数、反射率和透射率; 所述光路耦合模块用于通过光路将脉冲激光入射到待测宽禁带功率器件的表面,控制脉冲激光波长、能量、入射位置,并对待测宽禁带功率器件表面形貌、脉冲激光照射位置进行实时成像; 所述光电测试模块经探针台与待测宽禁带功率器件的栅极、漏极、源极电连接,用于在辐照前后对待测宽禁带功率器件进行常规电性测试与光电特性测试; 所述电学测试平台通过预留电源线接口与测试电路连接,待测宽禁带功率器件通过插拔方式接入测试电路,用于在辐照前后对待测宽禁带功率器件进行动态开关特性测试; 所述第一控制系统用于将椭偏状态变化参数与扫描模型进行拟合得到单层薄膜的折射率、消光系数并向第二控制系统传输单层薄膜的折射率、消光系数、反射率和透射率; 所述第二控制系统用于将薄膜的折射率、消光系数、反射率和透射率输入器件入射模型计算不同波长脉冲激光在待测宽禁带功率器件内穿过各层薄膜到达有源区时的有效脉冲激光能量,根据有效脉冲激光能量得到等效重离子LET值,根据等效重离子LET值控制光路耦合模块、光电测试模块和电学测试平台闭环调节脉冲激光能量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京大学,其通讯地址为:210033 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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