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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种基于太赫兹片上光谱的芯片电路缺陷检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120275812B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510780734.4，技术领域涉及：G01R31/311；该发明授权一种基于太赫兹片上光谱的芯片电路缺陷检测系统及方法是由唐福;胡旻;陈义强;赵昊;刘加豪;宾泽川;许星星;王之哲;陈方舟;李元晟设计研发完成，并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于太赫兹片上光谱的芯片电路缺陷检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于太赫兹片上光谱的芯片电路缺陷检测系统及方法，系统包括：激光器，用于产生飞秒激光；分光镜，用于将所述飞秒激光分束为发射光和接收光；发射端，用于所述发射光入射后产生太赫兹波，所述太赫兹波耦合传输至接收端；接收端，用于所述接收光入射，并基于所述接收光和所述太赫兹波产生电流信号；射频探针，用于将所述电流信号传输至待检测芯片。本发明基于发射端向接收端耦合传输的太赫兹波以在接收端产生用于检测的电流信号的方式，将传统的远场检测转变为近场检测，不仅能够显著地提高信噪比和传输效率，而且这种方式可以适用于更高频率的太赫兹波，有效地提高了检测的精度。

本发明授权一种基于太赫兹片上光谱的芯片电路缺陷检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于太赫兹片上光谱的芯片电路缺陷检测系统，其特征在于，所述系统包括： 激光器（1），用于产生飞秒激光； 分光镜（2），用于将所述飞秒激光分束为发射光和接收光； 发射端（3），用于所述发射光入射后产生太赫兹波，所述太赫兹波耦合传输至接收端（4）； 接收端（4），用于所述接收光入射，并基于所述接收光和所述太赫兹波产生电流信号； 射频探针（5），用于将发射端（3）产生的太赫兹信号传输至待检测芯片； 所述发射端（3）包括发射天线（32）以及连接至所述发射天线（32）上的两根相互平行的第一传输线（31），所述第一传输线（31）连接有直流偏压源（33）；所述接收端（4）包括接收天线（42）以及连接至所述接收天线（42）上的两根相互平行的第二传输线（41），所述第二传输线（41）连接至所述射频探针（5），所述第二传输线（41）上还设置有弱信号放大的电流计（43）； 所述第一传输线（31）平行于所述第二传输线（41），所述第一传输线（31）包括耦合传输段和非耦合传输段，所述耦合传输段与所述第二传输线（41）之间的距离小于所述非耦合传输段与第二传输线（41）之间的距离。

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