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深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司张桂华获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申请的专利半导体设备用聚焦环的制备装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120272890B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510767379.7,技术领域涉及:C23C16/54;该发明授权半导体设备用聚焦环的制备装置是由张桂华;刘畅;伊小念;刘锦豪设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体设备用聚焦环的制备装置在说明书摘要公布了:本发明提供了半导体设备用聚焦环的制备装置,包括安装台,热腔、制备腔、过渡腔和冷却腔内均设置有安装台,所述安装台上部连接有多个呈环形阵列分布的柱状件,所述柱状件上部依次可拆卸的连接有多个拆装架,所述拆装架上部放置有聚焦环基材,所述聚焦环基材为制备半导体设备用聚焦环的基材。本发明利用柱状件和拆装架可对多个聚焦环基材进行堆叠放置,单次可沉积多个聚焦环,且拆装架与聚焦环基材的接触面积仅为三个点,使得聚焦环基材与拆装架的接触面积极小,便于聚焦环基材的拆卸和安装,且接触面积小,降低接触位置对聚焦环成型质量的影响。

本发明授权半导体设备用聚焦环的制备装置在权利要求书中公布了:1.半导体设备用聚焦环的制备装置,包括支撑外框架(1),所述支撑外框架(1)由顶部支撑板、中部制备框壳和底部支撑框壳依次连接构成,所述中部制备框壳为圆环型腔室,其特征在于,所述半导体设备用聚焦环的制备装置还包括: 阻断门模组(2),所述中部制备框壳的圆环型腔室通过阻断门模组(2)分隔为四个腔室,依次分别为预热腔(3)、制备腔(4)、过渡腔(5)和冷却腔(6),所述阻断门模组(2)用于控制预热腔(3)、制备腔(4)、过渡腔(5)和冷却腔(6)之间的通断; 安装台(7),所述预热腔(3)、制备腔(4)、过渡腔(5)和冷却腔(6)内均设置有安装台(7),所述安装台(7)上部连接有多个呈环形阵列分布的柱状件(8),所述柱状件(8)上部依次可拆卸的连接有多个拆装架(9),所述拆装架(9)上部放置有聚焦环基材(10),所述聚焦环基材(10)为制备半导体设备用聚焦环的基材; 所述柱状件(8)包括粗底柱(81)和固定凸起块(82),所述粗底柱(81)底部连接于安装台(7)顶部,所述粗底柱(81)顶部连接有多个呈环形阵列分布的固定凸起块(82); 所述拆装架(9)包括拆装环(91),所述拆装环(91)侧面连接有三个呈环形阵列分布的连接条(92); 所述连接条(92)一端螺纹连接有接触柱(93),所述接触柱(93)顶端与聚焦环基材(10)底部接触; 所述拆装环(91)顶部连接有多个呈环形阵列分布的拆装凸起块(94),所述拆装环(91)底部连接有多个呈环形阵列分布的拆装凹槽(95),所述拆装凸起块(94)、固定凸起块(82)均与拆装凹槽(95)插接; 旋转机构,所述旋转机构分别与四个安装台(7)底部连接,所述旋转机构用于旋转安装台(7),使安装台(7)在预热腔(3)、制备腔(4)、过渡腔(5)和冷却腔(6)内运行; 所述旋转机构还包括防偏组件(13),所述防偏组件(13)包括弧形随动框(131)和固定轨道(132),所述弧形随动框(131)连接于安装台(7)底部,所述固定轨道(132)连接于底部支撑框壳顶部; 所述固定轨道(132)顶面转动连接有多个顺滑滚球(133),所述顺滑滚球(133)与固定轨道(132)顶面内壁接触; 所述预热腔(3)与过渡腔(5)、冷却腔(6)之间通过余热利用组件(14)连接,所述余热利用组件(14)包括中心管路(141),所述中心管路(141)设置于中部制备框壳中心处; 所述中心管路(141)侧面分别与预热腔(3)、过渡腔(5)和冷却腔(6)连通,所述中部制备框壳外侧连接有集中框壳(142),所述集中框壳(142)与预热腔(3)连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司,其通讯地址为:518106 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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