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龙图腾网获悉中国计量大学申请的专利非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120252497B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510761264.7，技术领域涉及：G01B9/02001；该发明授权非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法是由许素安;洪亮;章志勇;曾涛;富雅琼;张宝武设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法，本发明中的单频激光器输出的光束经偏振片转换为45°线偏振光，射向由偏振分光镜、四分之一波片、固定镜和移动镜组成的激光干涉单元，形成干涉信号。然后进入电光晶体调制器、偏振分光镜、光电探测器和电压控制器组成的非线性误差自补偿的电光控制单元。通过正交的光电探测器光强信号做差值，差值与工作电压求和作为电光调制器的驱动电压，采用光强差值的PID控制，实现相位自动补偿，从而补偿主要由偏振混叠引起的光学非线性误差。本发明采用电光效应的偏振调制检测方法与单频偏振干涉测长相结合，基于电光晶体对偏振光的精密调制与解调，实现干涉条纹的高倍细分。

本发明授权非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置，其特征在于，包括： 光源模块，用于提供单频激光光束； 偏振光生成模块，用于将所述单频激光光束转换为线偏振光； 光束分离模块，用于将所述线偏振光分离为两束偏振光，并分别引导至固定镜和移动镜； 偏振态转换模块，用于将所述两束偏振光分别转换为圆偏振光，并在反射后再次转换为线偏振光； 干涉合成模块，用于将所述两束线偏振光合成为一束线偏振光； 偏振态调制模块，用于对所述合成的线偏振光进行偏振态调制； 光强检测模块，用于检测所述调制后的线偏振光的X轴方向光强和Y轴方向光强； 信号处理模块，用于对所述光强检测模块的检测信号进行处理，以计算偏振光的椭率角和取向角；所述取向角用于确定所述移动镜的位移量，实现纳米级位移测量精度，所述椭率角用于实时监测和补偿由偏振混叠引起的光学非线性误差； 误差补偿控制模块，用于根据所述椭率角和取向角信息，动态调整所述偏振态调制模块的工作状态，实现光学非线性误差的自补偿； 非线性误差自补偿的电光控制单元由第一电光晶体调制器、第二电光晶体调制器、第二偏振分光镜、电压控制器、第一光电探测器和第二光电探测器组成； 线偏振光经过第一电光晶体调制器、第二电光晶体调制器和第二偏振分光镜，第二偏振分光镜将光束分为两束正交的P偏振光和S偏振光，由第一光电探测器和第二光电探测器进行探测其X轴方向光强和Y轴方向光强； 两光电探测器探测的光强差值信号反馈给电压控制器，电压控制器根据反馈信号动态调整输出电压作用于两电光晶体调制器； 通过控制电光晶体驱动电压实现相位自动补偿，实现合成干涉光偏振态精密调制，控制椭率角使其保持在0°，从而补偿主要由偏振混叠引起的光学非线性误差。

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