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龙图腾网获悉浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请的专利一种离子注入机中的解锁顶升组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120236987B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510725326.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种离子注入机中的解锁顶升组件是由龚再生设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子注入机中的解锁顶升组件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子注入机中的解锁顶升组件，包括底板，设置在的驱动电机与滚珠丝杠传动连接，滚珠丝杠上的滑块连接有活动板，在活动板的两侧分别固定设置有一导向传动杆，解锁板的一端套设在导向传动杆上，并通过弹簧与活动板弹性连接，解锁板的另一端延伸至晶圆加工工位；导向传动杆分别位于解锁板的两侧，导向传动杆的端部与第一连杆的一端连接，第一连杆的另一端向下倾斜，且与通过第一转动件与第二连杆的一端活动连接，在第二连杆的另一端设有第二转动件，在第一转动件和第二转动件的内侧端分别设有一顶升块，顶升块可在导向传动杆的推动下转动顶起晶圆。本发明通过设置一驱动电机便可同时实现对靶盘组件的解锁和举升动作。

本发明授权一种离子注入机中的解锁顶升组件在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机中的解锁顶升组件，其特征在于，包括底板1，设置在底板1下方的驱动电机2的输出端与设置在底板1上方的滚珠丝杠3传动连接，设置在滚珠丝杠3上的滑块4连接有同步移动的活动板5，在活动板5的两侧分别固定设置有一导向传动杆6，解锁板7的一端套设在导向传动杆6上，并通过弹簧8与活动板5弹性连接，解锁板7的另一端延伸至旋转靶盘的晶圆加工工位； 所述导向传动杆6分别位于解锁板7的两侧，导向传动杆6的端部与第一连杆61的一端连接，第一连杆61的另一端向下倾斜，且与通过第一转动件62与第二连杆63的一端活动连接，在第二连杆63的另一端设有第二转动件64，在第一转动件62和第二转动件64的内侧端分别设有一顶升块65，顶升块65能够在导向传动杆6的推动下转动顶起晶圆，位于相对侧的两个顶升块65通过一同步转动轴66连接，在同步转动轴66上设有用于复位顶升块65的扭簧67； 所述解锁板7的底部设有活动基座71，活动基座71的两侧分别设有一通孔，且通过通孔套设在导向轴72上，导向轴72的两端分别通过一定位座73安装，定位座73固定设置在活动基板74的顶面，在活动基板74的底面设有滑动块75，所述滑动块75与平行设置在滚珠丝杠3侧方的滑轨76配合。

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