南京大学王华兵获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种在BSCCO单晶表面沉积金电极的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120174322B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510648064.0,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种在BSCCO单晶表面沉积金电极的方法是由王华兵;卞钰龙;王云帆;杨志垚;王子希;魏子涵;吕阳阳;吴培亨设计研发完成,并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在BSCCO单晶表面沉积金电极的方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种在BSCCO单晶表面沉积金电极的方法,属于超导器件制备技术领域,该方法包括以下步骤:S1、清洗蓝宝石衬底;S2、蓝宝石衬底置于真空管道中,将粘有BSCCO单晶的PDMS膜固定在蓝宝石衬底上,在真空管道内解理BSCCO单晶;S3、使用磁控溅射在蓝宝石衬底上固定的BSCCO单晶表面沉积一层金膜;S4、光刻转移金电极图样于BSCCO单晶表面;S5、离子束刻蚀,去除光刻图形以外的金膜;S6、蒸镀氧化硅薄膜作为保护层;S7、有机溶剂去除光刻胶。本发明方法将在BSCCO单晶上沉积金电极的必要步骤都在真空环境中完成,有效降低有机试剂、水和空气对BSCCO单晶结构影响。
本发明授权一种在BSCCO单晶表面沉积金电极的方法在权利要求书中公布了:1.一种在BSCCO单晶表面沉积金电极的方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、清洗蓝宝石衬底; S2、蓝宝石衬底置于真空管道中,将粘有BSCCO单晶的PDMS膜固定在蓝宝石衬底上,在真空管道内解理BSCCO单晶; S3、使用磁控溅射在蓝宝石衬底上固定的BSCCO单晶表面沉积一层金膜; S4、光刻转移金电极图样于BSCCO单晶表面; S5、离子束刻蚀,去除光刻图形以外的金膜; S6、将样品原位转移至电子束蒸发设备中,蒸镀氧化硅薄膜作为保护层; S7、有机溶剂去除光刻胶; 所述S2中,使用第一胶带将蓝宝石衬底固定在样品盘上,样品盘固定在真空管道内的小车上,将粘有BSCCO单晶的PDMS膜固定在蓝宝石衬底上,PDMS膜的一端由第二胶带连接,第二胶带的另一端固定在真空管道腔壁上,通过移动小车,利用小车移动的惯性在管道内解理BSCCO单晶。
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