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南京大学王华兵获国家专利权

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龙图腾网获悉南京大学申请的专利用于约瑟夫森探针显微镜的原子力显微成像装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120142699B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510629966.X,技术领域涉及:G01Q60/24;该发明授权用于约瑟夫森探针显微镜的原子力显微成像装置及方法是由王华兵;吴子悦;张平;侯守成;单烁;刘涛;张扬昊;吕阳阳;王永磊;吴培亨设计研发完成,并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

用于约瑟夫森探针显微镜的原子力显微成像装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于约瑟夫森探针显微镜的原子力显微成像装置及方法,属于原子力显微成像技术领域,该装置包括样品台、第二位移组件、第一位移组件、超导约瑟夫森探针组件、第一控制器、第二控制器、锁相放大器、电流放大器以及高速数据采集器,超导约瑟夫森探针组件包括探针模块和音叉模块,探针模块包括探针和探针盒,音叉模块包括音叉晶片和衬底,探针与音叉晶片连接,锁相放大器与音叉晶片连接以实时监测音叉晶片的振幅变化,锁相放大器通过控制第二控制器带动样品上下移动实现探针与样品间距的闭环调节。本发明实时调整探针与样品表面的距离,确保成像过程中的高度稳定性,进一步提升分辨率;可以有效延长探针使用寿命,降低使用成本。

本发明授权用于约瑟夫森探针显微镜的原子力显微成像装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于约瑟夫森探针显微镜的原子力显微成像方法,使用一种用于约瑟夫森探针显微镜的原子力显微成像装置,其特征在于,该装置包括用于固定样品的样品台(3)、与所述样品台(3)连接的第二位移组件(2)、与所述第二位移组件(2)连接的第一位移组件(1)、用于探测样品的超导约瑟夫森探针组件(4)、与所述第一位移组件(1)电连接的第一控制器(51)、与所述第二位移组件(2)电连接的第二控制器(52)、与所述超导约瑟夫森探针组件(4)电连接的锁相放大器(6)、与所述锁相放大器(6)电连接的电流放大器(7)以及与所述锁相放大器(6)和第二控制器(52)均电连接的高速数据采集器(8),所述超导约瑟夫森探针组件(4)包括探针模块和音叉模块,所述探针模块包括探针(41)和探针盒(42),所述音叉模块包括音叉晶片(43)和衬底(44),所述探针(41)与音叉晶片(43)连接,所述锁相放大器(6)与所述音叉晶片(43)连接以实时监测所述音叉晶片(43)的振幅变化,所述锁相放大器(6)通过控制第二控制器(52)带动样品上下移动实现探针(41)与样品间距的闭环调节; 所述第一位移组件(1)包括实现Z轴方向移动的第一位移台(11)、实现Y轴方向移动的第二位移台(12)以及实现X轴方向移动的第三位移台(13),所述第二位移组件(2)包括实现Z轴方向移动的第四位移台(21)以及实现X轴和Y轴方向移动的第五位移台(22),所述锁相放大器(6)通过所述第四位移台(21)实时调整样品的上下位置使探针(41)与样品表面的距离恒定; 所述探针(41)针尖顶部直径小于50nm,所述探针(41)针尖顶部具有两个并联的超导约瑟夫森结; 所述衬底(44)为正方形板,所述音叉晶片(43)晶振方向平行于衬底(44)平面,所述探针(41)尖端一侧与所述音叉晶片(43)一臂末端接触; 该方法包括以下步骤: 步骤1、将样品固定在样品台(3)上,在显微镜下通过第一位移组件(1)将样品移动到探针(41)下方,探针(41)与样品表面的初始距离调整到微米级范围; 步骤2、通过第一位移组件(1)的第一位移台(11)和第二位移组件(2)的第四位移台(21)带动样品向上移动完成进针操作,控制探针(41)与样品之间的距离在原子力的作用范围内; 步骤3、通过第二位移组件(2)的第五位移台(22)控制样品在XY平面内进行移动,从而探针(41)针尖在样品表面进行扫描,在扫描的过程中,利用锁相放大器(6)的PID控制功能,通过第四位移台(21)实时调整样品在Z轴方向的位置,保持探针(41)与样品表面的距离恒定; 步骤4、扫描过程中,通过高速数据采集器(8)实时采集第二位移组件(2)的电压信号,并将其转换为样品表面的高度信息,生成样品表面的高分辨成像图; 所述步骤2中,首先利用锁相放大器(6)对音叉晶片(43)施加不同频率的电压信号,获得音叉晶片(43)振动幅度随频率的变化关系谱,选择音叉晶片(43)共振峰下降部分的频率作为参考频率,用于后续的进针操作。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京大学,其通讯地址为:210023 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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