全芯智造技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉全芯智造技术有限公司申请的专利曲线掩模的掩模工艺修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120103668B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510591891.0，技术领域涉及：G03F1/72；该发明授权曲线掩模的掩模工艺修正方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本曲线掩模的掩模工艺修正方法在说明书摘要公布了：本公开的实施例提供了曲线掩模的掩模工艺修正方法、电子设备和计算机可读存储介质。该掩模工艺修正方法包括：将曲线掩模的曲线段分为多个区段并确定与多个区段分别相对应的多个仿真采样点；基于多个仿真采样点中的相应仿真采样点的位置数据并且基于对掩模制造过程的仿真，确定相应仿真采样点所在的区段的预估位置；以及基于预估位置与相应仿真采样点所在的区段的期望位置之间的偏差，调整相应仿真采样点所在的区段的位置。
本发明授权曲线掩模的掩模工艺修正方法在权利要求书中公布了：1.一种曲线掩模的掩模工艺修正方法，包括： 将曲线掩模的曲线段分为多个区段并确定与所述多个区段分别相对应的多个仿真采样点； 基于所述多个仿真采样点中的相应仿真采样点的位置数据以及掩模制造过程的仿真，确定所述相应仿真采样点所在的区段的预估位置；以及 基于所述预估位置与所述相应仿真采样点所在的区段的期望位置之间的偏差，调整所述相应仿真采样点所在的区段的位置。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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