北京北方华创微电子装备有限公司于鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利承载装置及半导体工艺腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119980197B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510472384.5，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权承载装置及半导体工艺腔室是由于鹏;闫志顺;赵福平;韩天棋;周振溪;杨剑;郑建宇设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载装置及半导体工艺腔室在说明书摘要公布了：本发明公开一种承载装置及半导体工艺腔室，属于半导体工艺设备技术领域，所述的承载装置包括依次堆叠的多个承载舟，其中，每个所述承载舟均包括多个舟片和多个导电结构，在每个所述承载舟中，相邻的两个所述舟片中的一者为奇数舟片另一者为偶数舟片；每个所述承载舟中所有的所述奇数舟片以及所有的所述偶数舟片分别通过相应的所述导电结构电连接；在相邻的两个所述承载舟中，上方的所述承载舟的导电结构支撑于下方的所述承载舟的所述导电结构上，并与下方的所述承载舟的所述导电结构电连接。上述方案能解决背景技术中的承载装置会导致半导体工艺腔室的结构较为复杂以及造价较高的问题。
本发明授权承载装置及半导体工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种承载装置，其特征在于，包括依次堆叠的多个承载舟（10），其中，每个所述承载舟（10）均包括多个舟片（11）和多个导电结构（12），在每个所述承载舟（10）中，相邻的两个所述舟片（11）中的一者为奇数舟片（101）另一者为偶数舟片（102）； 每个所述承载舟（10）中所有的所述奇数舟片（101）以及所有的所述偶数舟片（102）分别通过相应的所述导电结构（12）电连接； 在相邻的两个所述承载舟（10）中，上方的所述承载舟（10）的导电结构（12）支撑于下方的所述承载舟（10）的所述导电结构（12）上，并与下方的所述承载舟（10）的所述导电结构（12）电连接；相邻的两个所述承载舟（10）中的至少一者的所述导电结构（12）包括朝向另一者凸出并与另一者的所述导电结构（12）支撑配合的支撑凸起（121）；相邻的两个所述承载舟（10）的所述舟片（11）之间通过所述支撑凸起（121）间隔开。
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