江苏光启灵犀装备有限公司林智威获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏光启灵犀装备有限公司申请的专利一种无挥发性溶剂的光刻胶及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120044755B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510193305.7,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权一种无挥发性溶剂的光刻胶及其制备方法是由林智威;张漫江;郑怡倩;张尔海;洪炎建;苏粤;龙钰;刘永配设计研发完成,并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种无挥发性溶剂的光刻胶及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光刻胶技术领域,具体为一种无挥发性溶剂的光刻胶及其制备方法。本发明克服了现如今光刻胶稳定性差的问题。本发明中光刻胶的合成原料包括复合树脂、改性光引发剂、复合交联剂、改性固化剂、含氟硅氧烷纳米颗粒、聚酰亚胺微球和复合分散剂;通过将上述材料进行搅拌超声混合得到前驱体溶液,接着进行脱气处理得到光刻胶。本发明通过在多官能树脂中引入单官能树脂来调节粘度,并与改性光引发剂协同提高光刻胶的附着力;将制备的改性固化剂和复合交联剂加入光刻胶中提高了其拉伸强度;通过加入制备的含氟硅氧烷纳米颗粒和聚酰亚胺微球来提高光刻胶的耐酸碱性;通过控制复合分散剂的用量以及超声搅拌的时间来提高光刻胶的均一性。
本发明授权一种无挥发性溶剂的光刻胶及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种无挥发性溶剂的光刻胶的制备方法,其特征在于:按重量份数计,所述制备方法包括以下步骤: S1将40-60份复合树脂加入反应容器中,在500rpm的转速下,缓慢加入5-9份改性光引发剂,持续搅拌1h-2h,形成均匀的混合溶液;所述复合树脂包括季戊四醇三丙烯酸酯和丙烯酸异冰片酯; S2将1-3份复合交联剂、0.5-0.9份改性固化剂、0.1-0.5份含氟硅氧烷纳米颗粒、0.1-0.3份聚酰亚胺微球和0.2-0.4份复合分散剂在500rpm的转速下逐个加入到所述混合溶液中,在超声机中以20kHz超声处理10min-30min,接着在800rpm下搅拌2h-4h,得到光刻胶前驱体溶液; S3将所述光刻胶前驱体溶液进行脱气处理,将所述反应容器抽至真空,在50rpm的转速下缓慢搅拌20min-60min以消除气泡,处理结束后得到所述光刻胶; 所述改性光引发剂的制备方法为:在反应釜中加入8-12份2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯和10份甲苯,搅拌30min后加入1份乙二胺和0.2份三乙胺,将反应体系加热至80℃,并在加热条件下搅拌反应8h,反应结束后,将反应液冷却至室温,通过蒸馏除去有机溶剂,接着在真空干燥箱内60℃干燥12h得到所述改性光引发剂; 所述复合交联剂是由γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和六甲氧基甲基三聚氰胺混合而成的; 所述改性固化剂是将安息香二甲醚和β-环糊精进行复合形成的; 所述复合分散剂是由脂肪醇聚氧乙烯醚和十二烷基苯磺酸钠混合而成的。
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