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龙图腾网获悉东莞汇乐技术股份有限公司申请的专利一种晶圆加工清洁装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119793990B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510045867.7，技术领域涉及：B08B5/02；该发明授权一种晶圆加工清洁装置是由王银安;李海燕;楚世赟;李怀俊;许文棋;姚星;蔡俊炜;袁伟杰;张科威;黄文彬;迟浩蓬;陈晓晨设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工清洁装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆加工清洁装置，包括底框，底框的四个边角设有向上延伸竖立的立柱，立柱远离底框的一端设有上框体，底框、立柱与上框体组成安装框架，安装框架中设有安装板；安装板上装设有移动机构，移动机构下面设有除尘机构，移动机构的上面设有气压组件，除尘机构通过导管连接气压组件，除尘机构、移动机构与气压组件设置在安装框架中；除尘机构通过第二吊挂滑座连接移动机构，除尘机构包括除尘头箱体，除尘头箱体的底部设有底板，除尘头箱体的顶部设有开口，除尘头箱体顶端的开口处设有箱体密封盖；除尘头箱体内设有由底板上向延伸的正压箱。本申请采用两个风机提供正压或者负压的气源，实现智能化清洁。

本发明授权一种晶圆加工清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工清洁装置，包括：底框11，底框11的四个边角设有向上延伸竖立的立柱12，立柱12远离底框11的一端设有上框体13，底框11、立柱12与上框体13组成安装框架，安装框架中设有安装板14； 其特征在于，所述安装板14上装设有移动机构21，移动机构21下面设有除尘机构41，移动机构21的上面设有气压组件61，除尘机构41通过导管59连接气压组件61，除尘机构41、移动机构21与气压组件61设置在安装框架中； 除尘机构41通过第二吊挂滑座34连接移动机构21，除尘机构41包括除尘头箱体42，除尘头箱体42的底部设有底板49，除尘头箱体42的顶部设有开口，除尘头箱体42顶端的开口处设有箱体密封盖48；除尘头箱体42内设有由底板49上向延伸的正压箱44，正压箱44的顶端距离除尘头箱体42的顶端设有分离间距； 正压箱44外壁与除尘头箱体42内壁之间设有分离间距，正压箱44的外侧设有负压腔43，负压腔43设置在除尘头箱体42内壁与正压箱44外壁之间； 移动机构21包括第一挂载滑轨28、第一齿条座27，第一齿条座27、第一挂载滑轨28固设在安装板14下面，第一挂载滑轨28与第一齿条座27设置在安装板14远离立柱12的一侧，第一齿条座27、第一挂载滑轨28与安装板14平行设置； 第一挂载滑轨28上挂设有可滑动的第一吊挂滑座29，第一吊挂滑座29上固设有第一电机23，第一电机23与第一齿条座27齿合传动连接。

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