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北京大学马超获国家专利权

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龙图腾网获悉北京大学申请的专利基于边缘场的浮栅碳纳米管晶体管柔性压力传感器及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119984580B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411941503.9,技术领域涉及:G01L1/14;该发明授权基于边缘场的浮栅碳纳米管晶体管柔性压力传感器及制备方法是由马超;胡又凡设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

基于边缘场的浮栅碳纳米管晶体管柔性压力传感器及制备方法在说明书摘要公布了:本发提供一种基于边缘场的浮栅碳纳米管晶体管柔性压力传感器,包括弹性体复合电极、分层复合介电质层、叉指电极、浮栅碳纳米管晶体管和柔性衬底;弹性体复合电极包括弹性体电极和金属电极;弹性体电极由PDMS和CNT复合材料制备而成,其外表面形成多尺度微结构;金属电极蒸镀在多尺度微结构外表面上;分层复合介电质层包括有机介电质和无机介电质;叉指电极为共面设计,其中一个电极朝不延长的电极的相反方向延长至弹性体复合电极之外,作为浮栅电极;晶体管介电层、沟道、源漏电极位于弹性体复合电极之外的延迟电极的延长部分之上。本发明加强了对边缘场的调控能力,大幅度提高了传感器的灵敏度和力学稳定性,降低了工作电压,有利于阵列化拓展。

本发明授权基于边缘场的浮栅碳纳米管晶体管柔性压力传感器及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于边缘场的浮栅碳纳米管晶体管柔性压力传感器,包括弹性体复合电极、分层复合介电质层、叉指电极、浮栅碳纳米管晶体管和柔性衬底,其特征在于,所述弹性体复合电极由弹性体电极和金属电极复合而成,所述弹性体电极为聚二甲基硅氧烷和导电碳纳米管复合材料制备而成的弹性体,所述弹性体电极在朝向分层复合介电质层的外表面形成多尺度微结构;所述金属电极为蒸镀在弹性体电极具有多尺度微结构外表面上的金属层电极;所述分层复合介电质层位于弹性体复合电极具有多尺度微结构的外表面与叉指电极之间,由有机介电质和无机金属氧化物介电质形成上下层结构复合而成;所述叉指电极采用共面设计,其中一个电极朝不延长的电极的相反方向延长,延长至弹性体复合电极之外,作为浮栅碳纳米管晶体管中的浮栅电极,用于浮栅碳纳米管晶体管的集成,所述浮栅碳纳米管晶体管中的晶体管介电层、沟道、源极电极和漏极电极位于弹性体复合电极之外的延长电极的延长部分之上;所述叉指电极上表面与分层复合介电质层中的无机金属氧化物介电质相连,下表面与氧化铪相连;所述氧化铪下表面与柔性衬底相连。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京大学,其通讯地址为:100871 北京市海淀区颐和园路5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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