北京大学马超获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种基于边缘场效应的柔性接近和压力传感器及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119984380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411928150.9,技术领域涉及:G01D21/02;该发明授权一种基于边缘场效应的柔性接近和压力传感器及制备方法是由马超;胡又凡设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于边缘场效应的柔性接近和压力传感器及制备方法在说明书摘要公布了:本发明具体涉及一种基于边缘场效应的柔性接近和压力传感器,包括弹性体复合浮动电极、复合介电层、叉指电极和超薄柔性衬底,其特征在于,所述弹性体复合浮动电极由弹性体电极和金属电极复合而成,所述弹性体电极为由聚二甲基硅氧烷和碳纳米管复合材料制备而成的弹性体,所述弹性体电极在朝向复合介电层的外表面形成多尺度微结构;所述金属电极为蒸镀在弹性体电极具有多尺度微结构外表面上的金属层电极;所述复合介电层由有机介电层和无机金属氧化物介电层形成上下层结构复合而成,厚度小于220nm;所述叉指电极采用共面的设计,其上表面与复合介电层中的无机金属氧化物介电层相连,其下表面与氧化铪相连;所述氧化铪下表面与超薄柔性衬底相连,所述超薄柔性衬底厚度小于2μm。本发明提供的基于边缘场效应的柔性接近和压力传感器,加强了对边缘场的调控能力,在不损失对接近信号探测性能的同时,提高了压力传感的灵敏度及线性度,扩大了传感范围,并降低外部电磁信号对压力探测的干扰。
本发明授权一种基于边缘场效应的柔性接近和压力传感器及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于边缘场效应的柔性接近和压力传感器,包括弹性体复合浮动电极、复合介电层、叉指电极、超薄柔性衬底,其特征在于,所述弹性体复合浮动电极由弹性体电极和金属电极复合而成,所述弹性体电极为聚二甲基硅氧烷和碳纳米管复合材料制备而成的弹性体,所述弹性体电极在朝向复合介电层的外表面形成多尺度微结构;所述金属电极为蒸镀在弹性体电极具有多尺度微结构外表面上的金属层电极;所述复合介电层由有机介电层和无机金属氧化物介电层形成上下层结构复合而成,厚度小于220nm;所述叉指电极采用共面的设计,其上表面与复合介电层中的无机金属氧化物介电层相连,其下表面与氧化铪相连;所述氧化铪下表面与超薄柔性衬底相连,所述超薄柔性衬底厚度小于2μm。
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