无锡云亭石墨烯技术有限公司侯树亭获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡云亭石墨烯技术有限公司申请的专利一种MEMS传感器芯片结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223254917U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422671970.6，技术领域涉及：B81B7/02；该实用新型一种MEMS传感器芯片结构是由侯树亭;王智;李虹潮设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS传感器芯片结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及微机电技术领域，具体提供了一种MEMS传感器芯片结构，包括衬底、设于衬底上的惯性敏感模块、设于衬底和惯性敏感模块中构成电性互联的信号传输网，以及配合衬底封装的盖板；所述信号传输网包括自下而上依次分布的石墨烯电路层、第一石墨烯复合材料电路层、第二石墨烯复合材料电路层、金属电路层；本实用新型采用分层次构建信号传输网的方式使得信号传输网的构建具有更多可能性，多层次的电路层中均采用了石墨烯材料，利于石墨烯优异的性能在保证信号传输的同时压缩了信号传输网整体的厚度，进而压缩MEMS传感器芯片的厚度；支持柱和锚柱的设置，能够保护芯片内部的惯性敏感模块和信号传输网，提高信号传输网的使用性能。
本实用新型一种MEMS传感器芯片结构在权利要求书中公布了：1.一种MEMS传感器芯片结构，包括衬底、设于衬底上的惯性敏感模块、设于衬底和惯性敏感模块中构成电性互联的信号传输网，以及配合衬底封装的盖板； 其特征在于：所述信号传输网包括自下而上依次分布的石墨烯电路层、第一石墨烯复合材料电路层、第二石墨烯复合材料电路层、金属电路层； 所述石墨烯电路层由石墨烯材料制成，石墨烯电路层的厚度为5-10纳米； 所述第一石墨烯复合材料电路层由石墨烯掺氯化铁制成，第一石墨烯复合材料电路层的厚度为10-12纳米； 所述第二石墨烯复合材料电路层由石墨烯掺铜材料制成，第二石墨烯复合材料电路层的厚度为12-15纳米； 所述金属电路层由铜材料制成，金属电路层的厚度为12-15纳米。
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