宸微设备科技(苏州)有限公司邹文慧获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利一种半导体加工设备的进气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255424U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422578894.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种半导体加工设备的进气装置是由邹文慧;姚成汉;张满设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工设备的进气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体加工设备的进气装置，所述半导体加工设备包括真空腔室，所述真空腔室具有安装顶壁，所述进气装置包括：中心供气管路，连接于所述安装顶壁，并与所述真空腔室连通；边缘供气组件，包含N个边缘供气管道，所述边缘供气管道连接于所述安装顶壁的边缘区域，并与所述真空腔室连通，所述N大于或等于4。本实用新型能够实现整个腔体内气体可控，改善了晶圆上沉积膜边缘厚度的分布情况，优化厚度均匀性。
本实用新型一种半导体加工设备的进气装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工设备的进气装置，所述半导体加工设备包括真空腔室100，所述真空腔室100具有安装顶壁110，其特征在于，所述进气装置包括： 中心供气管路200，连接于所述安装顶壁110，并与所述真空腔室100连通； 边缘供气组件300，包含N个边缘供气管道310，所述边缘供气管道310连接于所述安装顶壁110的边缘区域，并与所述真空腔室100连通，所述N大于或等于4。
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