苏州铼铂机电科技有限公司李奕获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州铼铂机电科技有限公司申请的专利一种手动推片设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223260572U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422021160.6,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种手动推片设备是由李奕;黄仕康;王小亮设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种手动推片设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种手动推片设备,包括设备底板、真空吸盘、晶圆承片台和真空加热载物台,所述真空加热载物台通过真空加热载物台安装连接柱安装在所述设备底板上,所述真空加热载物台内设置有加热云母片和温感热电偶,并且通过外置的温度控制模块控制温度;所述真空加热载物台与所述真空吸盘分别设置有真空气路,所述真空气路上设有用于控制真空气路通断的控制开关;所述晶圆承片台通过滑动调节装置连接在所述设备底板上,所述滑动调节装置通过调节所述晶圆承片台的前、后、上、下位置用于完成落片。本实用新型的手动推片设备温度调节精准,加热均匀,吸附牢固,操作便捷,有利于标准化的生产与研究。
本实用新型一种手动推片设备在权利要求书中公布了:1.一种手动推片设备,其特征在于,包括设备底板、真空吸盘、晶圆承片台和真空加热载物台,所述真空加热载物台通过真空加热载物台安装连接柱安装在所述设备底板上,所述真空加热载物台内设置有加热云母片和温感热电偶,并且通过外置的温度控制模块控制温度;所述真空加热载物台与所述真空吸盘分别设置有真空气路,所述真空气路上设有用于控制真空气路通断的控制开关;所述晶圆承片台通过滑动调节装置连接在所述设备底板上,所述滑动调节装置通过调节所述晶圆承片台的前、后、上、下位置用于完成落片。
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