合肥芯碁微电子装备股份有限公司叶飞获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利标定总成及具有其的曝光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260027U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421971890.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型标定总成及具有其的曝光装置是由叶飞设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本标定总成及具有其的曝光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种标定总成及具有其的曝光装置，标定总成包括支架、标定件和导光件，支架上设有安装槽；标定件设于安装槽上；导光件设于安装槽上且导光件设于标定件的出光侧，导光件用于调整标定件的标定光束延伸路径。通过在标定件的出光侧对应设置有导光件，以让标定件的位置能够根据需求调整，以让标定总成的结构设置更为简单可靠。同时，由于使用导光件对标定件的出光进行调整，以让标定总成使用过程中能够调整标定路径，以实现标定总成的自动标定，从而让标定总成标定使用具有更高的使用精度，以让后续曝光装置在使用过程中的曝光良率得到提升。
本实用新型标定总成及具有其的曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种标定总成，其特征在于，包括： 支架，所述支架上设有安装槽； 标定件，所述标定件设于所述安装槽上； 导光件，所述导光件设于所述安装槽上且所述导光件设于所述标定件的出光侧，所述导光件用于调整所述标定件的标定光束延伸路径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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