江苏派莱特光电科技有限公司朱九菊获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏派莱特光电科技有限公司申请的专利一种离子源用气体穿透件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223249536U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421937147.9,技术领域涉及:B03C3/017;该实用新型一种离子源用气体穿透件是由朱九菊;刘年生;安建昊;唐欢欢;许帮洪;赵剑光设计研发完成,并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子源用气体穿透件在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种离子源用气体穿透件,其涉及光学镀膜领域,旨在解决供气管道长时间使用老化时,管道会剥离出部分细小颗粒掺入到反应气中,导致反应气试剂受到污染的问题,其技术方案要点是包括进气管、中间管和出气管,进气管、中间管和出气管依次首位连接,进气管外接供气管道设置,出气管连通连接离子源镀膜机设置,进气管隔断设置有固定的杂质滤网,所述出气管隔断设置有固定的石墨烯气凝胶层,达到了双重过滤的有效保证反应气试剂的纯净程度的效果。
本实用新型一种离子源用气体穿透件在权利要求书中公布了:1.一种离子源用气体穿透件,包括进气管1、中间管2和出气管3,所述进气管1外接供气管道设置,所述出气管3连通连接离子源镀膜机设置,其特征在于:所述进气管1、中间管2和出气管3依次首位连接,所述进气管1隔断设置有固定的杂质滤网11,所述出气管3隔断设置有固定的石墨烯气凝胶层31。
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