拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司郑旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种半导体器件的加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260547U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421925974.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种半导体器件的加工设备是由郑旭东;郭东设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体器件的加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体器件的加工设备。所述半导体器件的加工设备包括：多个工艺腔室、屏蔽罩及多个导电结构。所述多个工艺腔室分别配置有独立控制的电极。各所述电极分别向对应的工艺腔室提供射频，以对其中的晶圆进行加工。所述屏蔽罩包围各所述电极并接地，以进行电离辐射屏蔽。多个导电结构第一端连接所述屏蔽罩，而其第二端分别连接各所述工艺腔室上对应电极的电极感应区，以消除各所述电极感应区之间的电势差。
本实用新型一种半导体器件的加工设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体器件的加工设备，其特征在于，包括： 多个工艺腔室，分别配置有独立控制的电极，其中，各所述电极分别向对应的工艺腔室提供射频，以对其中的晶圆进行加工； 屏蔽罩，包围各所述电极并接地，以进行电离辐射屏蔽；以及 多个导电结构，其第一端连接所述屏蔽罩，而其第二端分别连接各所述工艺腔室上对应电极的电极感应区，以消除各所述电极感应区之间的电势差。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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