合肥领航微系统集成有限公司弓冬冬获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥领航微系统集成有限公司申请的专利一种易使用的等离子刻蚀机气体加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260546U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421881512.9，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种易使用的等离子刻蚀机气体加热装置是由弓冬冬;詹同舟;满陆祥;石彦立设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种易使用的等离子刻蚀机气体加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种易使用的等离子刻蚀机气体加热装置，包括：壳体，所述壳体上设置有进风口；第一电加热板；第二电加热板，与所述第一电加热板并排安装于壳体内侧；导向板，设置于第一电加热板与第二电加热板之间，且所述导向板内侧开始有对在气体进行导向的特斯拉阀流道；第二分散板，可拆卸安装于壳体内侧底端；通过设置有第一电加热板、第二电加热板、导向板及特斯拉阀流道，避免在加热气体时，需要多个U型加热管，后期维护频率高，本装置仅需第一电加热板及第二电加热板即可对气体进行加热，结构简单，后期维护便捷，且在加热时能够很好的通过特斯拉阀流道降低气体的逆向回流，避免重复加热，导致的热风受热不均匀。
本实用新型一种易使用的等离子刻蚀机气体加热装置在权利要求书中公布了：1.一种易使用的等离子刻蚀机气体加热装置，其特征在于，包括： 壳体1，所述壳体1上设置有进风口2； 第一电加热板5； 第二电加热板7，与所述第一电加热板5并排安装于壳体1内侧； 导向板6，设置于第一电加热板5与第二电加热板7之间，且所述导向板6内侧开始有对气体进行导向的特斯拉阀流道601； 第二分散板9，可拆卸安装于壳体1内侧底端，且所述第二分散板9内侧开设有使热气体分散到刻蚀机内部的第一分配孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥领航微系统集成有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区孔雀台路2899号联东U谷·合肥高新国际企业港18-101号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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