江苏派莱特光电科技有限公司朱九菊获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏派莱特光电科技有限公司申请的专利一种离子源用二次护罩获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223260545U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421796139.7,技术领域涉及:H01J37/08;该实用新型一种离子源用二次护罩是由朱九菊;刘年生;安建昊;唐欢欢;许帮洪;赵剑光设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子源用二次护罩在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种离子源用二次护罩,其涉及光学镀膜领域,旨在解决加长了绝缘气针的长度,影响设备内部结构紧凑性的问题,其技术方案要点是出气管为气流出口对准放电室的特斯拉阀,达到了不增加气针本体长度的同时,有效防止离子气体进入到气体管道中发生,使得供气更加稳定的效果,设备整体更加紧凑的同时,体积也便于进一步缩小。
本实用新型一种离子源用二次护罩在权利要求书中公布了:1.一种离子源用二次护罩,其特征在于:包括串联连接的进气管1、气针本体2以及出气管3,所述进气管1及出气管3分别连接在气针本体2两端,所述气针本体2包括两端连通进气管1及出气管3的导气件,所述出气管3末端连通设置有放电室4,所述放电室4底壁固定设置有射频线圈41,所述射频线圈41外接射频电源设置,所述导气件外壁包裹设置有第一绝缘层21,所述导气件靠近出气管3的一端覆盖第一绝缘层21设置有第一电极5,所述进气管1靠近射频电源一端的外壁固定安装设置有第二电极6,所述导气件包裹第一绝缘层21的第一电磁屏蔽护罩22,所述出气管3为气流出口对准放电室4的特斯拉阀,所述第二电极6接地设置。
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