武汉敏声新技术有限公司林炳辉获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉敏声新技术有限公司申请的专利一种体声波谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118432572B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410578296.9，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种体声波谐振器及其制备方法是由林炳辉;蔡耀;邹杨;周杰;高超;孙博文;孙成亮设计研发完成，并于2024-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，通过在方法中融入第一衬底以及单晶薄膜层，并且使得单晶薄膜层作为压电堆叠膜层的生长表面，进而借助单晶薄膜层的特性，在单晶薄膜层上形成压电堆叠膜层时，获得高质量的准单晶压电层，进而将其应用到器件中，有效提高体声波谐振器的性能。
本发明授权一种体声波谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器制备方法，其特征在于，所述方法包括： 提供第一衬底以及位于所述第一衬底上的单晶薄膜层； 在所述单晶薄膜层背离所述第一衬底的表面形成压电堆叠膜层，其中，所述压电堆叠膜层包括依次形成于所述单晶薄膜层的顶电极、压电层和底电极； 在所述压电堆叠膜层背离所述第一衬底的一侧键合第二衬底； 以所述单晶薄膜层为刻蚀停止层，通过湿法腐蚀去除所述第一衬底，以通过所述单晶薄膜层抑制所述压电层释放应力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉敏声新技术有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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