宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种钨硅合金靶材的镀镍方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118186382B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410308157.4，技术领域涉及：C23C18/32；该发明授权一种钨硅合金靶材的镀镍方法是由姚力军;潘杰;侯宇;刘宽炳设计研发完成，并于2024-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钨硅合金靶材的镀镍方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种钨硅合金靶材的镀镍方法，所述镀镍方法包括以下步骤：1将钨硅合金靶材依次进行第一清洗处理、活化处理、第一浸泡热处理和第二浸泡热处理，得到预处理后的靶材；2将步骤1得到的所述预处理后的靶材浸泡在镀镍液中进行镀镍处理，然后依次进行第三浸泡热处理、第四浸泡热处理和干燥处理，得到镀镍后的靶材。本发明提供的镀镍方法能够在钨硅合金表面形成镀镍层，从而提升钨硅合金靶材和背板的结合强度，同时能够避免钨硅合金靶材在加工过程中的开裂问题。
本发明授权一种钨硅合金靶材的镀镍方法在权利要求书中公布了：1.一种钨硅合金靶材的镀镍方法，其特征在于，所述镀镍方法包括以下步骤： 1将钨硅合金靶材依次进行第一清洗处理、活化处理、第一浸泡热处理和第二浸泡热处理，得到预处理后的靶材； 所述活化处理包括采用酸液对靶材进行浸泡； 所述酸液包括含有氢氟酸和硝酸的混酸溶液； 所述混酸溶液中氢氟酸、硝酸和水的质量比为0.5-1.5:1.5-2.5:2.5-3.5； 所述第一浸泡热处理包括将靶材在纯水中浸泡；所述第一浸泡热处理的水温为45-55℃； 所述第二浸泡热处理包括将靶材在纯水中浸泡；所述第二浸泡热处理的水温为65-75℃； 2将步骤1得到的所述预处理后的靶材浸泡在镀镍液中进行镀镍处理，然后依次进行第三浸泡热处理、第四浸泡热处理和干燥处理，得到镀镍后的靶材； 所述第三浸泡热处理包括将靶材在纯水中浸泡；所述第三浸泡热处理的水温为65-75℃； 所述第四浸泡热处理包括将靶材在纯水中浸泡；所述第四浸泡热处理的水温为55-65℃。
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