北京北方华创微电子装备有限公司郭子煜获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利下电极系统及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117832055B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410017018.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权下电极系统及半导体工艺设备是由郭子煜;郭士选;马恩泽;苏恒毅;郭春;徐珂浩;张辉设计研发完成，并于2024-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本下电极系统及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种下电极系统及半导体工艺设备，该系统包括承载装置和顶针装置，顶针装置用于将承载装置上的晶圆托起或将晶圆放置于承载装置，还包括接地装置，接地装置包括接地电路、接地开关和控制单元，其中，接地电路通过接地开关与承载装置中的下电极电连接，用于在接地开关闭合的情况下，将下电极接地；控制单元用于在半导体工艺的等离子体产生阶段开始之前，控制接地开关断开，并在等离子体产生阶段结束，且顶针装置将承载装置上的晶圆托起之后，控制接地开关闭合。本方案可以提高晶圆的重复传输精度，保证AWC结果满足要求。
本发明授权下电极系统及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种下电极系统，应用于半导体工艺设备，包括承载装置和顶针装置，所述顶针装置用于将所述承载装置上的晶圆托起或将晶圆放置于所述承载装置，其特征在于，还包括接地装置，所述接地装置包括接地电路、接地开关和控制单元，其中，所述接地电路通过所述接地开关与所述承载装置中的下电极电连接，用于在所述接地开关闭合的情况下，将所述下电极接地； 所述控制单元用于在半导体工艺的等离子体产生阶段开始之前，控制所述接地开关断开，并在所述等离子体产生阶段结束，且所述顶针装置将所述承载装置上的晶圆托起之后，控制所述接地开关闭合。
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