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美科陶瓷科技有限公司金泽坤获国家专利权

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龙图腾网获悉美科陶瓷科技有限公司申请的专利陶瓷基座获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117954300B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311402886.8,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权陶瓷基座是由金泽坤设计研发完成,并于2023-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

陶瓷基座在说明书摘要公布了:本发明提供一种陶瓷基座,本发明的实施例的陶瓷基座,其包括配置有高频电极的陶瓷板,所述陶瓷板包括与所述高频电极连接的连接器,包括一侧端部与所述连接器连接,并用于向所述高频电极供电的电极杆,所述电极杆将Mo、W或其合金作为母材,在所述母材的表面包括AlCrN膜。

本发明授权陶瓷基座在权利要求书中公布了:1.一种陶瓷基座,包括配置有由导电材料构成的高频电极的陶瓷板,其中, 所述陶瓷板包括与所述高频电极电连接的连接器, 包括一侧端部与所述连接器电连接,并用于向所述高频电极供电的电极杆, 所述电极杆将为顺磁体的Mo、W或含有Mo、W中的一种以上的合金作为母材, 在所述电极杆的表面包括AlCrN膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人美科陶瓷科技有限公司,其通讯地址为:韩国京畿道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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