浙江雅晶电子有限公司张其俊获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江雅晶电子有限公司申请的专利一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备及其制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117305774B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311286203.7,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备及其制备工艺是由张其俊;陈卫设计研发完成,并于2023-10-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备及其制备工艺在说明书摘要公布了:本申请涉及一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备及其制备工艺,包括机架、以及设置在机架上的真空蒸镀仓,所述真空蒸镀仓中可转动安装有蒸镀转盘,所述蒸镀转盘上沿其周向方向等间距分布有若干蒸镀安装架,所述蒸镀安装架转动安装在所述蒸镀转盘上,所述蒸镀安装架中安装有至少一个掩膜板,所述掩膜板用于收容音叉片;所述真空蒸镀仓在所述蒸镀转盘的中心位置设置有多个蒸镀钼舟,所述蒸镀钼舟用于放置并蒸发金属蒸镀材料;所述真空蒸镀仓内设置有翻转组件,所述蒸镀安装架经过翻转组件时转动以使得所述掩膜板倾斜经过所述蒸镀钼舟上方。本申请具有提高生产效率的效果。
本发明授权一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备及其制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备,其特征在于,包括机架1、以及设置在机架1上的真空蒸镀仓2,所述真空蒸镀仓2中可转动安装有蒸镀转盘4,所述蒸镀转盘4上沿其周向方向等间距分布有若干蒸镀安装架5,所述蒸镀安装架5转动安装在所述蒸镀转盘4上,所述蒸镀安装架5中安装有至少一个掩膜板6,所述掩膜板6用于收容音叉片; 所述真空蒸镀仓2在所述蒸镀转盘4的中心位置设置有多个蒸镀钼舟7,所述蒸镀钼舟7用于放置并蒸发金属蒸镀材料; 所述真空蒸镀仓2内设置有翻转组件8,所述蒸镀安装架5经过翻转组件8时转动以使得所述掩膜板6倾斜经过所述蒸镀钼舟7上方; 所述蒸镀安装架5包括主安装架51、以及设置所述主安装架51上的连接转轴52,所述连接转轴52转动安装在所述蒸镀转盘4上,所述主安装架51上设置有主安装槽,若干所述掩膜板6插接在所述主安装槽中,相邻所述掩膜板6之间的侧壁相抵,所述连接转轴52与所述翻转组件8配合驱使所述主安装架51翻转以使得所述掩膜板6的两个表面可分别倾斜朝向所述蒸镀钼舟7; 所述翻转组件8包括主翻转齿轮81和主翻转齿条82,所述主翻转齿轮81同轴安装在所述连接转轴52上,所述主翻转齿轮81上具有第一数量的主齿部811,所述主翻转齿条82设置在所述真空蒸镀仓2内且位于所述蒸镀转盘4一侧,所述主翻转齿条82朝向所述蒸镀转盘4的表面上间隔设置至少两个主翻转齿821,所述主翻转齿821与所述主齿部811啮合适配,在所述蒸镀转盘4转动以将所述蒸镀安装架5经过所述翻转组件8时,所述主翻转齿821与所述主齿部811啮合以带动所述连接转轴52转动第一角度; 所述连接转轴52上同轴安装有副翻转齿轮83,所述副翻转齿轮83与所述主翻转齿轮81间隔设置,所述副翻转齿轮83上具有第二数量的副齿部831,所述真空蒸镀仓2内在所述蒸镀转盘4的一侧滑动设置有滑移架84,所述主翻转齿条82设置在所述滑移架84上,所述滑移架84上设置有副翻转齿条85,所述副翻转齿条85与所述主翻转齿条82间隔设置,所述副翻转齿条85与所述副齿部831啮合适配,所述真空蒸镀仓2上设置有与所述滑移架84相连的驱动部86,所述驱动部86用于驱使所述副翻转齿条85与所述副齿部831啮合,所述副翻转齿851与所述副齿部831啮合以带动所述连接转轴52转动第二角度; 所述主翻转齿条82上固定有主连接轴87,所述副翻转齿条85上固定有副连接轴88,所述主翻转齿条82通过主连接轴87滑动安装在所述滑移架84上,所述副翻转齿条85通过副连接轴88滑动安装在所述滑移架84上,所述真空蒸镀仓2内沿所述滑移架84的滑移方向设置的切换架91,所述切换架91上设置有主切换块92,所述主切换块92上设置有与所述主连接轴87配合的主顶升平面93和主脱离斜面94,所述切换架91上设置有副切换块95,所述副切换块95上设置有与副连接轴88配合的副顶升平面96和副脱离斜面97,所述主切换块92和所述副切换块95间隔设置,所述主切换块92和所述副切换块95之间形成切换容纳腔,所述主连接轴87上套接安装有主复位弹簧89,所述副连接轴88上套接安装有副复位弹簧90。
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