中南钻石有限公司刘乾坤获国家专利权
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龙图腾网获悉中南钻石有限公司申请的专利一种降低单晶金刚石外延衬底偏向角度的加工装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117161959B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311238737.2，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种降低单晶金刚石外延衬底偏向角度的加工装置及方法是由刘乾坤;张国凯;郭崇;刘厚盛;薛晨阳;吴玲设计研发完成，并于2023-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种降低单晶金刚石外延衬底偏向角度的加工装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种降低单晶金刚石外延衬底偏向角度的加工装置及方法，属于晶体加工领域；首先采用晶体定向仪确定待矫正晶面的偏离角度，通过调节定向抛光偏角修正设备的精密角度控制仪固定待矫正样品的位置与角度；随后根据偏角大小，选用合适粒度的金刚石抛光液，并完成自动压力控制系统的参数设定，包括但并不限于抛光压力与抛光时间；最后将已完成矫正的晶面作为高品质CVD金刚石外延生长衬底；本发明，可保证了衬底晶向的准确性和一致性，显著降低外延层的残余应力与内部缺陷，提高金刚石的晶体质量，且操作简单、适用范围广泛。
本发明授权一种降低单晶金刚石外延衬底偏向角度的加工装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种降低单晶金刚石外延衬底偏向角度的加工装置，其特征在于：包括抛光盘、载样盘以及精密调角控制器，且载样盘限位放置于限位装置中而限位装置通过第一水平杆与精密调角控制器连接； 所述精密调角控制器包括第二水平杆以及间隔设于第二水平杆下方的压缩装置以及微型升降装置，且第二水平杆与第一水平杆垂直固接，且压缩装置布设于距固接点距离d1处，而微型升降装置布设于距固接点距离d2处； 所述限位装置上开设有上内凹槽和下内凹槽，且下内凹槽开设于上内凹槽的底部，而载样盘对应配设于凹槽内且其上端面凸出上内凹槽设置，其下端部插设于下内凹槽中并延伸至下内凹槽外设置； 待矫正的单晶片对应配设在载样盘的下端部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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