江苏高同装备有限公司叶佩青获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏高同装备有限公司申请的专利基于真空镀膜在线检测控厚装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117165911B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311138038.0，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权基于真空镀膜在线检测控厚装置是由叶佩青;冯志伟;田湛设计研发完成，并于2023-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于真空镀膜在线检测控厚装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于真空镀膜在线检测电机控厚装置包括位于外壳内部的驱动板和多个并排设置的控厚组件，所述控厚组件包括依次连接的直线电机、连杆、连接块和补正板，所述驱动板通过直线电机控制补正板接近或者远离离子膜发射柱，所述连杆穿过外壳的前面板，连杆处设置有位置锁死机构。外部pc端发送指令给驱动板，输出信号控制直线电机，进而驱动连杆、连接块和补正板做直线运动，能够精准控制补正板前端与离子膜发射柱的间隙，从而控制离子膜磁溅射通过的浓度，控制镀膜层的厚度。本发明能实现在线控制真空镀膜厚度，还可以实现厚度变化性镀膜，易于推广应用，具有较大实用价值。
本发明授权基于真空镀膜在线检测控厚装置在权利要求书中公布了：1.一种基于真空镀膜在线检测控厚装置，其特征在于：包括位于外壳内部的驱动板和多个并排设置的控厚组件，所述控厚组件包括依次连接的直线电机、连杆、连接块和补正板，所述驱动板通过直线电机控制补正板接近或者远离离子膜发射柱，所述连杆穿过外壳的前面板，连杆处设置有位置锁死机构；所述位置锁死机构包括固定座、凸轮、压板、支撑杆和弹簧，所述固定座内设置有直线电机，所述直线电机的前端固定连接有凸轮，所述压板的上侧设置有与凸轮相配合的滑坡，所述压板的下方设置有多个与连杆相配合的半圆挖槽，所述压板的两侧设置有穿过支撑杆的开孔，所述支撑杆的另一端固定在外壳内部，所述支撑杆上设置有弹簧，通过弹簧和凸轮控制压板与连杆之间的距离。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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