中国科学院兰州化学物理研究所王德生获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院兰州化学物理研究所申请的专利一种润滑薄膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116815143B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310790196.8,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种润滑薄膜及其制备方法和应用是由王德生;胡明;郭龙帮;王琴琴;伏彦龙;姜栋;赵旭;刘志鲁;高晓明;孙嘉奕;翁立军设计研发完成,并于2023-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种润滑薄膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明涉及机械润滑技术领域,尤其涉及一种润滑薄膜及其制备方法和应用。本发明提供的制备方法,包括以下步骤:将基体进行Ar离子轰击处理,得到预处理后的基体;在所述预处理后的基体表面重复循环沉积MoS2薄膜和N等离子体钝化处理,得到所述润滑薄膜。本发明所述制备方法以微量N元素的引入形成其对薄膜中S空位形成的悬挂键钝化效应,且薄膜呈纳米晶致密结构,具有良好的化学稳定性。根据实施例的记载,本发明提供的润滑薄膜的真空摩擦系数低于0.03,润滑寿命高于5.0×105r,并在大气条件下亦具有良好的润滑性能。
本发明授权一种润滑薄膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种润滑薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 将基体进行Ar离子轰击处理,得到预处理后的基体; 在所述预处理后的基体表面重复循环沉积MoS2薄膜和N等离子体钝化处理,得到所述润滑薄膜; 所述沉积MoS2薄膜后得到的MoS2薄膜的厚度为100~300nm; 所述N等离子体钝化处理的工作气体为氮气和氩气,所述工作气体的气压为0.3~0.8Pa,氮气与氩气的流量比为0.1~0.3,辅助灯丝加热电流为180A,等离子体源电流为30~60A,偏压为-50~-200V,时间为5~10min; 所述润滑薄膜为N元素掺杂的MoS2润滑薄膜,所述润滑薄膜中S与Mo的原子比为1.65~1.70:1。
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