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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116989692B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310740743.1，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法及系统是由卞殷旭;匡翠方;高金铭;刘旭;李海峰设计研发完成，并于2023-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法及系统。本发明基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法通过亚波长结构计算全息片的设计与应用，能够获得极紫外光刻物镜的高精度非球面面形数据，检测精度可以达到RMS小于1nm。本发明的计算全息图，高度单一，十分有利于低成本地精确刻蚀加工，且相位调制能力比传统台阶型计算全息图更大。

本发明授权一种基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法，所述极紫外光刻物镜为非球面反射镜，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1，根据被测非球面反射镜的设计面形数据，确定与之匹配的亚波长结构计算全息片的放置位置，并根据放置位置和面形数据，计算获得亚波长结构计算全息片的连续相位分布函数； 步骤2，对步骤1获得的连续相位分布函数进行N个灰度级的离散化相位数值处理，其中N=2k，k是正整数； 步骤3，设计亚波长结构计算全息片中的亚波长结构单元的结构参数与离散化相位数据的映射数据表，以此映射数据表作为亚波长结构计算全息片结构设计的依据； 步骤4，基于步骤3中的映射数据表，对步骤2中的离散化相位数值进行转换，获得亚波长结构计算全息片的亚波长结构单元设计方案，并按照该亚波长结构单元设计方案在基板上进行图案加工获得所述亚波长结构计算全息片； 步骤5，将所述亚波长结构计算全息片放置于步骤1中确定的放置位置，由标准干涉仪发出检测用的光线，经标准平面镜处理成平面波，并且一部分平面波反射回所述标准干涉仪形成参考光路，另一部分平面波透射过所述标准平面镜并入射到所述亚波长结构计算全息片上，将入射平面波转换成非球面波，并且该非球面波与被测非球面反射镜的面形匹配，非球面波入射到被测非球面反射镜上，并经被测非球面反射镜反射后原路返回至所述标准干涉仪中形成测试光路； 步骤6，调整被测非球面反射镜的空间姿态，使测试光路的光线在标准干涉仪中与所述参考光路的光线发生干涉，形成零位干涉测量，通过对获得的干涉图进行解算获得被测非球面反射镜的面形数据， 步骤3中，亚波长结构单元为圆柱或圆孔柱； 圆柱或圆孔柱的高度为：lamdag-1，其中，lamda为所述标准干涉仪发出检测用的光线的波长，g为所述亚波长结构计算全息片的折射率； 步骤3中，亚波长结构计算全息片中的亚波长结构单元的结构参数与离散化相位数据的映射关系为： 当亚波长结构单元为圆柱时，lamda表示所述标准干涉仪发出检测用的光线的波长，圆柱的直径为R1，圆柱的折射率为g，入射光为平面波，圆柱的高度H1为lamdag-1，将R1设为可变参数，lamda、g、H1作为恒定变量参数，带入到麦克斯韦方程组中，输出变量为相位，以时域有限差分法为近似数值计算原则，R1以10nm为间隔，从60nm扫描到700nm，记录输出的相位值，得到圆柱与离散化相位数据的映射关系； 当亚波长结构单元为圆孔柱时，lamda表示所述标准干涉仪发出检测用的光线的波长，圆柱孔的外径为R2，圆孔柱中心圆孔的直径为r2，圆柱的折射率为g，入射光为平面波，圆孔柱的高度H2为lamdag-1，将R2和r2设为可变参数，lamda、g、H2作为恒定变量参数，带入到麦克斯韦方程组中，输出变量为相位，以时域有限差分法为近似数值计算原则，R2和r2均以10nm为间隔，从60nm扫描到700nm，记录输出的相位值，得到圆孔柱与离散化相位数据的映射关系。

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