龙口市比特真空技术有限公司王桂岳获国家专利权
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龙图腾网获悉龙口市比特真空技术有限公司申请的专利一种轴承钢珠表面润滑涂层工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116377379B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310498354.2,技术领域涉及:C23C14/02;该发明授权一种轴承钢珠表面润滑涂层工艺是由王桂岳;赵松强;王可峰;栾庚祖设计研发完成,并于2023-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种轴承钢珠表面润滑涂层工艺在说明书摘要公布了:本发明提供一种轴承钢珠表面润滑涂层工艺,涉及钢珠表面润滑工艺领域。该基于一种轴承钢珠表面润滑涂层工艺,包括,S1.采用阳极层离子源对金属球进行表面清洗,采用氩气和氢气的混合气体,对杂质、氧化物进行去除及还原。在小于300℃时,Ag能提供足够的润滑能力,而温度更高时,700℃的高温摩擦环境中,空气环境中Mo发生氧化MoO3作为主要的润滑成分,TaC涂层为主要的硬度支撑层以及耐磨层,轴承钢球在不同的应用环境中可随着温度的变化均实现高润滑性能采用高功率脉冲磁控溅射技术可极大的提高涂层的结合强度与致密性、缺陷少、粗糙度低,可以提高钢球的抗磨损性能,提高轴承的使用寿命及精度。
本发明授权一种轴承钢珠表面润滑涂层工艺在权利要求书中公布了:1.一种轴承钢珠表面润滑涂层工艺,其特征在于,包括: S1.采用阳极层离子源对金属球进行表面清洗,采用氩气和氢气的混合气体,对杂质、氧化物进行去除及还原; S2.采用高功率磁控溅射在钢球表面沉积Cr、Ni或NiCr过渡层,所用靶材为Cr、Ni或任意比例的NiCr合金,沉积前先进行溅射处理; S3.在钢球表面沉积Cr、Ni或NiCr过渡层、氩气为70-150sccm、靶材功率为2-10kW、频率为20-500Hz、脉宽50-200μs、偏压为20-200V、镀层厚度20-500nm; S4.在钢球过渡层表面沉积Ag作为低温润滑层,采用高功率磁控溅射在钢球表面沉积Ag、所用靶材为Ag、氩气为70-150sccm、靶材功率为2-10kW、频率为20-500Hz、脉宽50-200μs、偏压为20-200V、厚度20-80nm; S5.在Ag层表面沉积Mo润滑层,采用高功率磁控溅射在钢球表面沉积Ag,所用靶材为Mo,氩气为70-150sccm、靶材功率为2-10kW、频率为20-500Hz、脉宽50-200μs、偏压为20-200V、过渡层厚度20-80nm; S6.在Mo层表面沉积TaC,作为支撑层提高硬度并兼具润滑性能,采用高功率磁控溅射在其表面沉积TaC,靶材为碳、氩气为70-150sccm、靶材功率为2-10kW、频率为20-500Hz、脉宽50-200μs、偏压为20-200V、厚度50-100nm; S7.重复S4-S6步骤,涂层总厚度为500nm。
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