迈为技术(珠海)有限公司陈万群获国家专利权
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龙图腾网获悉迈为技术(珠海)有限公司申请的专利刺晶型巨量转移装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116246988B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310190492.4,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权刺晶型巨量转移装置是由陈万群;滕翔宇;熊利刚设计研发完成,并于2023-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本刺晶型巨量转移装置在说明书摘要公布了:本发明涉及MiniLED晶圆巨量转移技术领域,尤其涉及一种刺晶型巨量转移装置,旨在缓解相关技术中产能低、产品精度差的技术问题。该刺晶型巨量转移装置在刺晶时,X向驱动机构带着基板载具上的基板沿X向移动,使基板与固晶总成夹持的晶圆实现精确对位,从而代替了固晶总成在X向的移动,通过这一转换,实现了减重,可满足刺晶作业高频高速高精度的要求,缓解了现有刺晶作业时产能低、产品精度差的技术问题。
本发明授权刺晶型巨量转移装置在权利要求书中公布了:1.一种刺晶型巨量转移装置,其特征在于,包括:上料总成100、固晶总成200、刺晶总成300、基板进料总成400、基板移动总成500和X轴横梁总成600; 所述上料总成100用于晶圆的上料,且包括用于装载晶圆的晶圆载具110; 所述固晶总成200用于夹持所述晶圆载具110; 所述刺晶总成300用于将晶圆上的芯粒转移到基板700; 所述基板进料总成400用于运输基板700; 所述基板移动总成500设置于所述基板进料总成400处,包括基板载具510和X向驱动机构520,所述基板载具510用于吸附所述基板进料总成400所述运输基板,所述X向驱动机构520与所述基板载具510传动连接,用于带动所述基板载具510沿X向移动; 所述X轴横梁总成600与所述固晶总成200传动连接,以带动所述固晶总成200运动至所述上料总成100处、所述基板载具510处,还与所述刺晶总成300传动连接,以带动所述刺晶总成300运动至所述基板载具510处; 所述上料总成100还包括支撑板120、第一安装板130、第三驱动机构140、取料机构150以及第四驱动机构; 所述第一安装板130与所述支撑板120滑动配合; 所述第三驱动机构140与所述第一安装板130传动连接,用于带动所述第一安装板130水平移动; 所述取料机构150设置于所述第一安装板130,并具有锁定和解锁两种状态; 所述第四驱动机构与所述取料机构150传动连接,并配置成在上料工况下,带动所述取料机构150在锁定和解锁两种状态中切换,以对应锁紧或松脱所述晶圆载具110; 所述晶圆载具110设有两个间隔分布的锁钩111,两个所述锁钩111的开口相背设置; 所述取料机构150包括第一连接杆151和两个第二连接杆152; 一个所述第二连接杆152的一端设有与其中一所述锁钩111相适配的第一紧固体153,另一端通过第一铰链销154与所述第一连接杆151的一端铰接,一个所述第二连接杆152还通过第二铰链销155与所述第一安装板130铰接,且所述第二铰链销155处于所述第一铰链销154与所述第一紧固体153之间; 另一所述第二连接杆152的一端通过第三铰链销156与所述第一安装板130铰接,另一端设有与另一所述锁钩111相适配的第二紧固体157,且所述第二紧固体157与所述第一紧固体153处于所述第一连接杆151的同一侧,另一所述第二连接杆152还通过第四铰链销158与所述第一连接杆151的另一端铰接,且所述第四铰链销158处于所述第三铰链销156与所述第二紧固体157之间; 所述第四驱动机构包括复位组件170和旋转驱动组件180; 所述复位组件170用于与其中一所述第二连接杆152连接,使所述第二连接杆152具有绕其与所述第一安装板130的铰接轴线朝向所述锁钩111转动的趋势; 两组所述旋转驱动组件180沿所述第一安装板130的滑动路径间隔分布,用于与其中一所述第二连接杆152传动连接,并配置成在上料工况下,任一组所述旋转驱动组件180带动所述第二连接杆152绕其与所述第一安装板130的铰接轴线远离所述锁钩111转动。
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