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先进能源科学与技术广东省实验室;中国科学院近代物理研究所熊平然获国家专利权

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龙图腾网获悉先进能源科学与技术广东省实验室;中国科学院近代物理研究所申请的专利一种超导腔缓冲化学抛光在线监测设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116356329B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310120179.3,技术领域涉及:C23F3/06;该发明授权一种超导腔缓冲化学抛光在线监测设备及方法是由熊平然;郭浩;游志明;宋玉堃;谭腾;初青伟;何源设计研发完成,并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种超导腔缓冲化学抛光在线监测设备及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超导腔缓冲化学抛光在线检测设备及方法,该设备包括移动车,设置在移动车上的重力传感器和支撑杆组件,所述重力传感器设置在移动车和支撑杆组件之间,所述支撑杆组件上设有旋转电机和超导腔,所述旋转电机用于驱动超导腔进行旋转,所述超导腔和BCP设备连接,所述BCP设备包括向超导腔提供抛光液的抛光液提供组件,所述重力传感器连接有信号传输组件。本发明能够实时检测超导腔的质量变化,再根据抛光时间计算出超导腔的平均抛光厚度和平均抛光速率,以实现抛光厚度的精准控制。

本发明授权一种超导腔缓冲化学抛光在线监测设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种超导腔缓冲化学抛光在线监测设备,其特征在于:包括移动车1,设置在移动车上的重力传感器2和支撑杆组件30,所述重力传感器设置在移动车和支撑杆组件之间,所述支撑杆组件上设有旋转电机15和超导腔7,所述旋转电机用于驱动超导腔进行旋转,所述超导腔和BCP设备连接,所述BCP设备包括向超导腔提供抛光液的抛光液提供组件10,所述重力传感器连接有信号传输组件20; 所述抛光液提供组件包括抛光液槽12,所述超导腔上设有进液管8和出液管9,所述抛光液槽的下部通过进液波纹管101和所述进液管连接,所述抛光液槽的上部通过出液波纹管102和所述出液管连接,所述进液波纹管上设有泵体11; 所述抛光液提供组件(10)和超导腔7形成一个封闭的回路,抛光液通过泵体的工作在此回路中循环流动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人先进能源科学与技术广东省实验室;中国科学院近代物理研究所,其通讯地址为:516025 广东省惠州市仲恺高新区陈江街道仲恺6路137号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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